[發明專利]壓電傳感器和使用壓電傳感器的電泳油墨顯示裝置

無效

• 申請號: 00100405.0
• 申請日: 2000-01-28
• 公開（公告）號: CN1262530A
• 公開（公告）日: 2000-08-09
• 發明（設計）人: 長谷川和正;下田達也
• 申請（專利權）人: 精工愛普生股份株式會社
• 主分類號: H01L41/08
• 分類號: H01L41/08;H01L27/20
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 方挺,余朦

1.一種薄膜壓電傳感器，包括在襯底上按第一電極層、第一壓電薄膜層、第二電極層、第二壓電薄膜層和第三電極層的順序形成的上述各層，其中限制所述第一和第二壓電薄膜層在厚度方向上不擴大或縮小。

2.根據權利要求1的薄膜壓電傳感器，其特征在于，所述第一、第二和第三電極層由鉑和鈦的多層結構形成。

3.根據權利要求1的薄膜壓電傳感器，其特征在于，所述第一和第二壓電薄膜層由鈦酸鋯酸鉛的壓電材料組成。

4.根據權利要求1的薄膜壓電傳感器，其特征在于，任意的電壓波形輸入至所述第一壓電薄膜層，而已經放大的所述任意電壓波形被輸出到所述第二壓電薄膜層。

5.一種薄膜壓電傳感器，其特征在于，在其內形成空腔的支撐基底上形成第一電極層、壓電薄膜層、第二電極層和第三電極層；在位于所述空腔上方的壓電薄膜層上相互有間隙地成對形成所述第二電極層和第三電極層。

6.根據權利要求5的薄膜壓電傳感器，其特征在于，這樣來形成所述第三電極層，使其跨在所述壓電薄膜層的端面和上表面上。

7.根據權利要求5的薄膜壓電傳感器，其特征在于，在其內形成有所述空腔的支撐基底為單晶硅襯底。

8.根據權利要求5的薄膜壓電傳感器，包括在所述支撐基底和所述第一電極層之間的由鋯酸鹽薄膜構成的隔膜。

9.根據權利要求5的薄膜壓電傳感器，其特征在于，所述第一、第二和第三電極層由鉑和鈦的多層結構組成。

10.根據權利要求5的薄膜壓電傳感器，其特征在于，所述壓電薄膜層由鈦酸鋯酸鉛的壓電材料組成。

11.根據權利要求5的薄膜壓電傳感器，其特征在于，在所述第一電極層和所述第二電極層上施加有任意的電壓波形，而已經放大的所述任意的電壓波形被輸出到所述第一電極層和所述第三電極層之間。

12.一種電泳油墨顯示裝置，包括多個電泳油墨顯示元件，該電泳油墨顯示元件包括多個膜盒，膜盒內的顏色因膜盒內帶電顆粒的移動而改變；該電泳油墨顯示裝置還包括：

多條柵極線，與柵極線交叉的多條數據線，以及配置在所述柵極線和數據線的交叉點上的薄膜晶體管；

其中，所述薄膜晶體管的一個源-漏與所述數據線連接；

所述薄膜晶體管的另一個源-漏與所述壓電傳感器的輸入側連接；和

所述壓電傳感器的輸出側與所述電泳油墨顯示元件的電極連接。

13.根據權利要求12的電泳油墨顯示裝置，其特征在于，所述壓電傳感器與所述薄膜晶體管的上部可振動地連接。

14.根據權利要求12的電泳油墨顯示裝置，其特征在于，所述壓電傳感器包括在所述絕緣襯底上按第一電極層、第一壓電薄膜層、第二電極層、第二壓電薄膜層和第三電極層的順序層疊的上述各層；以及

限制所述第一和第二壓電薄膜層使其在厚度方向上不擴大或縮小。

15.根據權利要求14的電泳油墨顯示裝置，其特征在于，通過在所述壓電傳感器的上部形成柱形結構，并利用對面設置的襯底來按壓所述柱形結構，以限制所述第一和第二壓電薄膜層，使其在厚度方向上不擴大或縮小，在所述對面設置的襯底上形成有所述電泳油墨顯示元件的上電極。

16.根據權利要求14的電泳油墨顯示裝置，其特征在于，所述第三電極層還具有所述電泳油墨顯示元件下電極的功能。

17.根據權利要求14的電泳油墨顯示裝置，其特征在于，所述第一、第二和第三電極層由鉑和鈦的多層結構形成。

18.根據權利要求14的電泳油墨顯示裝置，其特征在于，所述第一和第二壓電薄膜層由鋯酸鈦酸鉛的壓電材料形成。

19.根據權利要求14的電泳油墨顯示裝置，其特征在于，任意的電壓波形輸入至所述第一壓電薄膜層，而已經放大的所述任意電壓波形被輸出到所述第二壓電薄膜層。