[發(fā)明專利]化學(xué)放大型正光刻膠組合物

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 00100303.8
• 申請(qǐng)日: 2000-01-17
• 公開（公告）號(hào): CN1261171A
• 公開（公告）日: 2000-07-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上谷保則;井上博貴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 住友化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/039
• 分類號(hào): G03F7/039
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 嚴(yán)舫

1.一種正光刻膠組合物，包括一種樹脂，該樹脂含有下式(I)代表的2-烷基-2-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯聚合單元：其中R¹代表氫或甲基和R²代表烷基，該樹脂不溶或幾乎不溶于堿，但在酸的作用下能變成溶于堿，和一種下式(V)代表的酸發(fā)生劑：其中Q¹、Q²、Q³獨(dú)立地代表氫、羥基、含1-6個(gè)碳原子的烷基或含1-6個(gè)碳原子的烷氧基，n是4-8的整數(shù)。

2-根據(jù)權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，其中式(I)代表的2-烷基-2-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯聚合單元是2-甲基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯聚合單元或2-乙基-2-金剛烷基甲基丙烯酸酯聚合單元。

3.根據(jù)權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，其中的樹脂含有至少一種選自下式(II)代表的3-羥基-1-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯聚合單元：其中R³代表氫或甲基，和下式(III)代表的α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯聚合單元的聚合單元：其中R⁴代表氫或甲基，以及R⁵、R⁶和R⁷獨(dú)立地代表氫或烷基。

4.根據(jù)權(quán)利要求3的正光刻膠組合物，其中的樹脂是一種共聚物，含有式(I)代表的2-烷基-2-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯聚合單元和式(II)代表的3-羥基-1-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯聚合單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求3的正光刻膠組合物，其中的樹脂是一種共聚物，含有式(I)代表的2-烷基-2-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯聚合單元和式(III)代表的α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯聚合單元。

6.根據(jù)權(quán)利要求3的正光刻膠組合物，其中的樹脂是一種三元共聚物，含有式(I)代表的2-烷基-2-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯聚合單、式(II)代表的3-羥基-1-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯聚合單元和式(III)代表的α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯聚合單元。

7.根據(jù)權(quán)利要求3的正光刻膠組合物，其中的樹脂是從使用含有30-80％摩爾百分比的2-烷基-2-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯和20-70％(摩爾)至少一種選自3-羥基-1-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯和α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的單體混合物進(jìn)行共聚合得到的，其中α-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的內(nèi)酯環(huán)可被烷基取代。

8.根據(jù)權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，其中的樹脂含有下式(IV)代表的β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯聚合單元：

其中R⁴代表氫或甲基，以及R⁵、R⁶和R⁷獨(dú)立地代表氫或烷基。

9.根據(jù)權(quán)利要求8的正光刻膠組合物，其中的樹脂是從使用含有30-80％摩爾百分比的2-烷基-2-金剛烷基(甲基)丙烯酸酯和20-70％(摩爾)的β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的單體混合物進(jìn)行共聚合得到的，其中β-(甲基)丙烯酰氧基-γ-丁內(nèi)酯的內(nèi)酯環(huán)可被烷基取代。

10.根據(jù)權(quán)利要求1的正光刻膠組合物，該組合物還含有一種胺作為猝滅劑。