[實用新型]全自動LED芯片顯影機用取片手臂有效
| 申請號： | 201320418623.1 | 申請日： | 2013-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN203367246U | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 黃成;劉堅 | 申請（專利權）人： | 淮安澳洋順昌光電技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L21/68 |
| 代理公司： | 淮安市科文知識產權事務所 32223 | 代理人： | 謝觀素 |
| 地址： | 223001 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 全自動 led 芯片 顯影 機用取片 手臂 | ||
技術領域
本實用新型涉及LED芯片制造設備技術領域，具體涉及全自動LED芯片顯影機用取片手臂。
背景技術
當前全球能源短缺的憂慮再度升高的背景下，節約能源是我們未來面臨的重要的問題，在照明領域，LED發光產品的應用正吸引著世人的目光，LED作為一種新型的綠色光源產品，必然是未來發展的趨勢，二十一世紀將進入以LED為代表的新型照明光源時代。LED球泡燈具與白熾燈比較，其最大的發展動力就是節能環保的優勢。前LED行業的快速發展，已經使得部分LED照明產品價格低于白熾燈或等同的水平，使得普通百姓家都可以接受，而且亮度也優于白熾燈泡，LED（LightingEmittingDiode）照明即是發光二極管照明，是一種半導體固體發光器件，它是利用固體半導體芯片作為發光材料，在半導體中通過載流子發生復合放出過剩的能量而引起光子發射，直接發出紅、黃、藍、綠色的光，在此基礎上，利用三基色原理，添加熒光粉，可以發出紅、黃、藍、綠、青、橙、紫、白色等任意顏色的光。
LED芯片作為LED照明的主要部件，在生產過程中，通常需要對芯片進行顯影作業，在顯影作業過程中通常用到顯影機，目前，現有的顯影設備用的芯片取片手臂通常由不銹鋼材料制成，由于不銹鋼材料導熱快，會導致芯片與取片手臂的接觸部分形成叉形陰影，從而對芯片顯影效果產生不良影響。
發明內容
本實用新型要解決的技術問題是提供全自動LED芯片顯影機用取片手臂，該技術方案有效解決現有芯片顯影設備用取片手臂由不銹鋼材料制成，由于不銹鋼材料導熱快，芯片在顯像過程中產生叉形陰影，從而導致芯片顯影效果差的問題。
本實用新型通過以下技術方案實現：
全自動LED芯片顯影機用取片手臂，包括顯影機本體（1），顯影機本體（1）內設置有多個芯片承載臺面（2），多個芯片承載臺面（2）之間通過取片手臂（3）的取放進行芯片的顯影作業，其特征在于：所述取片手臂（3）由陶瓷材料制成。
本實用新型與現有技術相比，具有以下明顯優點：本實用新型將現有顯影設備的取片手臂用陶瓷材料制成，陶瓷材料導熱慢，而且耐高溫，在芯片顯影過程中不會在芯片與手臂接觸位置形成叉形陰影，提高了芯片的顯影效果，從而提高了芯片的成品率。
附圖說明
圖1為本實用新型的結構示意圖。
具體實施方式
如圖1所示，本實用新型包括顯影機本體1，顯影機本體1內設置有多個芯片承載臺面2，多個芯片承載臺面2之間通過取片手臂3的取放進行芯片的顯影作業，取片手臂3由陶瓷材料制成。
本實用新型未涉及部分均與現有技術相同或可采用現有技術加以實現。?
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
