[其他]啞鈴形梁膜結(jié)構(gòu)的壓阻型壓力傳感器無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 88211370 | 申請日： | 1988-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN88211370U | 公開（公告）日： | 1988-12-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鮑敏杭;王言;于連忠 | 申請（專利權(quán)）人： | 復(fù)旦大學 |
| 主分類號： | G01L9/06 | 分類號： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 復(fù)旦大學專利事務(wù)所 | 代理人： | 陸飛,滕懷流 |
| 地址： | 上海市邯鄲*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 用正面啞鈴形的異形梁與平膜相結(jié)合的彈性體結(jié)構(gòu)，在流體壓力負載下可以產(chǎn)生符號不同的應(yīng)力集中區(qū)，在這些區(qū)域設(shè)置力敏電阻器件(壓阻全橋或四端單元件的力敏器件)可以制成高性能的壓阻型壓力傳感器。這種壓力傳感器有靈敏度高，頻響特性好，受振動、加速度或姿態(tài)的影響小等優(yōu)點。由于關(guān)鍵的光刻對準工藝被集中到硅片的正面，使工藝加工的難度和對加工設(shè)備的要求降低，有利于成品率的提高和成本的下降。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 啞鈴 膜結(jié)構(gòu) 壓阻型 壓力傳感器 | ||
【主權(quán)項】：
1、一種硅膜為異形梁和膜組合結(jié)構(gòu)的硅壓阻型壓力傳感器，其特征在于硅膜結(jié)構(gòu)為從正面淺腐蝕形成的具有三個細頸區(qū)和兩個寬大區(qū)的啞鈴形異形梁和從反面深腐蝕形成的平膜的結(jié)合體，力敏電阻設(shè)置在異形梁的細頸區(qū)內(nèi)。
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