[其他]啞鈴形梁膜結構的壓阻型壓力傳感器無效
| 申請號： | 88211370 | 申請日： | 1988-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN88211370U | 公開（公告）日： | 1988-12-28 |
| 發明（設計）人： | 鮑敏杭;王言;于連忠 | 申請（專利權）人： | 復旦大學 |
| 主分類號： | G01L9/06 | 分類號： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 復旦大學專利事務所 | 代理人： | 陸飛,滕懷流 |
| 地址： | 上海市邯鄲*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 用正面啞鈴形的異形梁與平膜相結合的彈性體結構，在流體壓力負載下可以產生符號不同的應力集中區，在這些區域設置力敏電阻器件(壓阻全橋或四端單元件的力敏器件)可以制成高性能的壓阻型壓力傳感器。這種壓力傳感器有靈敏度高，頻響特性好，受振動、加速度或姿態的影響小等優點。由于關鍵的光刻對準工藝被集中到硅片的正面，使工藝加工的難度和對加工設備的要求降低，有利于成品率的提高和成本的下降。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 啞鈴 膜結構 壓阻型 壓力傳感器 | ||
【主權項】：
1、一種硅膜為異形梁和膜組合結構的硅壓阻型壓力傳感器，其特征在于硅膜結構為從正面淺腐蝕形成的具有三個細頸區和兩個寬大區的啞鈴形異形梁和從反面深腐蝕形成的平膜的結合體，力敏電阻設置在異形梁的細頸區內。
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