[其他]梁膜結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體壓力傳感器無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 88211369 | 申請(qǐng)日： | 1988-01-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN88211369U | 公開（公告）日： | 1988-12-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 于連忠;鮑敏杭;吳憲平 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 復(fù)旦大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01L9/06 | 分類號(hào)： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 復(fù)旦大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人： | 陸飛,滕懷流 |
| 地址： | 上海市邯鄲*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 目前廣泛使用的半導(dǎo)體壓力傳感器采用硅的平膜結(jié)構(gòu)，其線性度在高輸出時(shí)較差，精度無法提高。本實(shí)用新型采用了梁與平膜的組合結(jié)構(gòu)，利用梁結(jié)構(gòu)本身線性較好的特點(diǎn)，并保持了平膜結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)，從而制造出一種新型的高精度半導(dǎo)體壓力傳感器。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 膜結(jié)構(gòu) 半導(dǎo)體 壓力傳感器 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1、一種梁膜結(jié)構(gòu)的半導(dǎo)體壓力傳感器，其特征為在硅膜正面的中間部位有一根由正面光刻、淺腐蝕形成的梁條，梁條兩邊的硅膜成對(duì)稱形狀，為敏電阻設(shè)置在梁條的中點(diǎn)處或端點(diǎn)處。
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G01 測(cè)量；測(cè)試
G01L 測(cè)量力、應(yīng)力、轉(zhuǎn)矩、功、機(jī)械功率、機(jī)械效率或流體壓力
G01L9-00 用電或磁的壓敏元件測(cè)量流體或流動(dòng)固體材料的穩(wěn)定或準(zhǔn)穩(wěn)定壓力；用電或磁的方法傳遞或指示機(jī)械壓敏元件的位移，該機(jī)械壓敏元件是用來測(cè)量流體或流動(dòng)固體材料的穩(wěn)定或準(zhǔn)穩(wěn)定壓力的
G01L9-02 .利用改變歐姆電阻值的，例如，使用電位計(jì)
G01L9-08 .利用壓電器件的
G01L9-10 .利用電感量變化的
G01L9-12 .利用電容量變化的
G01L9-14 .涉及磁體位移的，例如，電磁體位移的
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G01L9-02 .利用改變歐姆電阻值的，例如，使用電位計(jì)
G01L9-08 .利用壓電器件的
G01L9-10 .利用電感量變化的
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