[其他]小型閃光燈深能級瞬態譜儀無效
| 申請號: | 88201059 | 申請日: | 1988-01-28 |
| 公開(公告)號: | CN88201059U | 公開(公告)日: | 1988-12-14 |
| 發明(設計)人: | 王壽寅;范希武 | 申請(專利權)人: | 中國科學院長春物理所 |
| 主分類號: | G01N21/63 | 分類號: | G01N21/63 |
| 代理公司: | 中科院長春專利事務所 | 代理人: | 李恩慶 |
| 地址: | 吉林省長春市*** | 國省代碼: | 吉林;22 |
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| 摘要: | 本實用新型屬于半導體材料測試儀器中的光學深能級譜儀。該譜儀在國產DLTS譜儀的基礎上,采用小型閃光燈作脈沖光源,結合DLTS譜儀的結構設計了同步電路。該譜儀體積小、造價低、結構簡單、發光較強,主要用于半導體深能級的測量特別適用于寬禁帶、單極性半導體,可以在肖特基結構下測量施主和受主深能級等參數。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 小型 閃光燈 能級 瞬態 | ||
【主權項】:
1、一種測量半導體材料深能級譜的裝置,是由脈沖光源,DLTS譜儀,X-Y計錄器,樣品室,監測示波器組成,其特征是脈沖光源為閃光燈管,配以激勵、同步電路。
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