[其他]接觸式工作膜片印刷機的夾具無效
| 申請號： | 88102387 | 申請日： | 1988-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN88102387A | 公開（公告）日： | 1988-11-23 |
| 發明（設計）人： | 博胡米爾·斯拉瓦塔 | 申請（專利權）人： | 特斯拉公司 |
| 主分類號： | G03F7/12 | 分類號： | G03F7/12 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 肖爾剛 |
| 地址： | 捷克*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 半導體工業中所使用的工作膜片接觸式印刷機的夾具能夠利用由現有易購得的原材料制成的密封墊，而且還能減少作用在原始模板和待復制膜片上的切向力。為此目的，本發明提出用一個初級密封墊和一個次級墊并在兩密封墊并在兩密封墊間配置一支架的結構。這種支架可防止切向力向與原始模板和待復制膜片相接觸的密封墊傳遞。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 接觸 工作 膜片 印刷機 夾具 | ||
【主權項】：
1、接觸式工作膜片印刷機包括一個固定部分和一個活動部分，它們的結構設計基本一致，這兩個部分都各裝有一個帶有中間開口的板形夾具，夾具上做有凹槽，一塊初級密封墊被推力架在凹槽底面上，保證初級密封墊位于凹槽底面和推力架之間，特別是在夾具體(3)上做有一附加的內凹槽(9)，裝在內凹槽(9)底面上的次級密封墊(4)可以保持徑向和軸向移動，支架(5)插在初級密封墊(6)和次級密封墊(4)之間也可作徑向和軸向移動，次級密封墊(4)，初級密封墊(6)和支架(5)都做有一樣的開口，其開口尺寸應分別小于模板(1)和膜片(2)的外廓尺寸，夾具體(3)上的內凹槽(9)的底面開口應大于模板(1)和膜片(2)的最大外廓尺寸，推力架(7)的開口尺寸則應小于內凹槽(9)底面的開口尺寸。
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