[其他]雙向微動調心裝置無效
| 申請號： | 87217516 | 申請日： | 1987-12-30 |
| 公開（公告）號： | CN87217516U | 公開（公告）日： | 1988-11-30 |
| 發明（設計）人： | 王江;鄒自強 | 申請（專利權）人： | 中國科學技術大學 |
| 主分類號： | H01L21/66 | 分類號： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 中國科學院合肥專利事務所 | 代理人： | 趙烏蘭,童建安 |
| 地址： | 安徽省合肥*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本實用新型是一種用于高精度測量的雙向微動調心裝置，由調節螺桿，彈性元件，立柱，上臺面，底座組成。以彈性元件的彈性比作為其傳動比，用剛度很小的彈性元件推動剛度相對很大的立柱，利用立柱的彈性形變，達到調節的目的，采用三根或三根以上立柱，避免調節中的傾斜誤差，并使二個方向的調節相互獨立成為可能。本實用新型具有結構簡單，調節方便，成本低，測量精度高，行程大，靈敏度可變的優點。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 雙向 微動 裝置 | ||
【主權項】：
1、一種雙向微動調心裝置，其特征在于該裝置的底座[5]上有立柱[3]，立柱[3]支撐上臺面[4]、彈性元件的二端分別與上臺面[4]和調節螺桿[1]接觸。
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- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
