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[其他]光學元件厚度的光學測量儀器無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 87200715 申請日: 1987-01-20
公開(公告)號: CN87200715U 公開(公告)日: 1987-12-02
發(fā)明(設計)人: 徐昌杰 申請(專利權)人: 浙江大學
主分類號: G01B11/02 分類號: G01B11/02;G01B9/02
代理公司: 浙江大學專利代理事務所 代理人: 林懷禹
地址: 浙江省杭*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種用于測量光學元件厚度的光學測量儀器,屬于測量和測試裝置。它由麥克爾遜干涉系統(tǒng)組成的,根據(jù)白光干涉條紋定位并將被測光學元件與標準塊比較,對當前尚未解決的膠合透鏡。可見光不透明的光學元件,未知材料的光學元件和無法預知厚度且誤差不大于百分之五毫米的光學元件實現(xiàn)非接觸測量,同時減少測試成本和測試時間。
搜索關鍵詞: 光學 元件 厚度 測量 儀器
【主權項】:
1、一種光學元件厚度光學測量儀器,由麥克爾遜干涉系統(tǒng)組成,本實用新型的特征是,在被測件[5]的一側,由固定鏡[1],透反鏡[2]、補償板[3]及白光光源[4]組成的左麥克爾遜干涉系統(tǒng)和在被測件[5]的另一側,由上與指示器[10]相接觸而且能上下移動的可動平面鏡[6]、透反鏡[8]、補償板[7]及白光光源[9]組成的右麥克爾遜干涉系統(tǒng)構成。裝有被測件[5]的測量架[11]能沿被測件光軸方向左右移動及測量架[11]自身在基準底平面上轉動,以調節(jié)光軸方向與OO軸方向平行。
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