[其他]通過控制硅的制造來改善直接工藝性能的一種方法無效
| 申請號: | 87107398 | 申請日: | 1987-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN87107398A | 公開(公告)日: | 1988-08-24 |
| 發明(設計)人: | 維舒·杜特·多薩;羅蘭德·利·哈姆;奧利沃·k·威爾丁格 | 申請(專利權)人: | 陶氏康寧公司 |
| 主分類號: | C07F7/16 | 分類號: | C07F7/16;C01B33/02 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人: | 全菁,吳大建 |
| 地址: | 美國密*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 公開了改善用烷基鹵和硅制造烷基鹵硅烷直接工藝性能的一種方法。該方法基于在制造硅期間,通過調節進入硅中的磷量,來控制用于直接工藝進入硅中的磷助觸媒的含量。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 通過 控制 制造 改善 直接 工藝 性能 一種 方法 | ||
【主權項】:
1、一種改善制造烷基鹵硅烷工藝性能的方法,該方法包括:在有錫或錫化合物,和銅或銅化合物,其中至少還有磷助觸媒(它占反應物料中硅的25~2500PPm)的情況下,在250~350℃的溫度,使烷基鹵與硅接觸;該方法還包括:在硅的制造期間,通過加入和調節硅料中磷的含量,通過調節加到硅中的磷量,來控制硅中磷助觸媒的含量。
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