[其他]分離磁體式平面磁控濺射源無效
| 申請號： | 87106947 | 申請日： | 1987-10-12 |
| 公開（公告）號： | CN1003655B | 公開（公告）日： | 1989-03-22 |
| 發明（設計）人： | 王德苗;任高潮 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 浙江大學專利代理事務所 | 代理人： | 連壽金 |
| 地址： | 浙江省杭*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 一種分離磁體式平面磁控濺射源，其磁場源由一固定的環狀外磁組件和繞轉軸旋轉的內磁組件構成，水冷器的冷卻水優先進入內磁組件腔Ⅲ，從內磁組件１的頂部溢出。本濺射源能產生一個或多個作圓周運動的扇形等離子體閉合環，或者產生一個能旋轉的∞字形等離子體閉合環。同已有的平面磁控濺射源比較，具有靶面有效濺射區域大、濺射刻蝕均勻、靶材利用率高、薄膜的等厚度沉積面積大等優點。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 分離 磁體 平面 磁控濺射 | ||
【主權項】：
1、一種由轉軸、磁場源、平面形陰極靶、水冷器以及屏蔽罩組成的分離磁體式平面磁控濺射源，其特征在于該濺射源包含一個由固定式圓環形磁體[2]和一個或者若干個作圓周運動的內磁組件[1]構成分離磁體式磁場源，以及一個優先冷卻陰極靶[4]的濺射區的水冷器。
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