[其他]施利爾雷恩暗場(chǎng)型光閥投影器的偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 87105269 | 申請(qǐng)日: | 1987-08-01 |
| 公開(公告)號(hào): | CN87105269A | 公開(公告)日: | 1988-03-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 阿爾弗萊德·G·盧新 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 通用電氣公司 |
| 主分類號(hào): | H04N3/16 | 分類號(hào): | H04N3/16;H04N9/285 |
| 代理公司: | 中國(guó)國(guó)際貿(mào)易促進(jìn)委員會(huì)專利代理部 | 代理人: | 趙蓉民 |
| 地址: | 美國(guó)康*** | 國(guó)省代碼: | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | 一種經(jīng)改進(jìn)的用于Schlieren暗場(chǎng)投影器光閥的電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)。該偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)取消了原來投影器所用的三組偏轉(zhuǎn)電極中的一組(D箱25)。這是通過改變加在偏轉(zhuǎn)電極上的直流電壓和交流電壓實(shí)現(xiàn)的。在第一控制箱電極組上加有四極直流電壓;在第二控制箱電極組上加有第二個(gè)四極直流電壓,與第一組的極性相反。這樣使電子束的豎直角和水平角受到不同改變,使電子束豎直和水平方向的軌跡受到不同改變,從而補(bǔ)償了由球面象差,偏轉(zhuǎn)聚焦象差,靜場(chǎng)四極透鏡產(chǎn)生的復(fù)合影響。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 施利爾 雷恩 暗場(chǎng) 型光閥 投影 偏轉(zhuǎn) 系統(tǒng) | ||
【主權(quán)項(xiàng)】:
1、一種改進(jìn)的靜電電光系統(tǒng),用于使在電子束整型孔闌形成的電子束物成像并在掃描光柵區(qū)內(nèi)使所述電子束掃過光柵區(qū),同時(shí)在整個(gè)掃描區(qū)上使電子束保持放大和聚焦,所述系統(tǒng)由下述各部分組成:偏轉(zhuǎn)電極組件,包括第一組四個(gè)控制電極,筒狀電極和第二組四個(gè)控制電極,上述筒狀電極沿上述偏轉(zhuǎn)電極組件的軸向,位于上述第一與第二組四電極之間,每個(gè)四電極組中有一對(duì)豎直偏轉(zhuǎn)極板和一對(duì)水平偏轉(zhuǎn)極板;用于向第一組豎直偏轉(zhuǎn)極板上加增量直流電壓,和向第一組水平偏轉(zhuǎn)極板上加大小相等、極性與豎直極板上相反的增量直流電壓的裝置;用于向第二組豎直偏轉(zhuǎn)極板上加與第一組極性相反的增量直流電壓,和向第二組水平偏轉(zhuǎn)極板上加大小相等,極性與豎直極板上相反的直流電壓的裝置;多元漂移環(huán)組件,它的軸與偏轉(zhuǎn)電極組件的軸同行。電子束靶電極,其軸與電極組件的軸分離。
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