[其他]一種盤形渦輪復(fù)合分子泵無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 87103994 | 申請(qǐng)日： | 1987-06-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN87103994A | 公開（公告）日： | 1988-12-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 朱岳;王孝珍;竺長(zhǎng)新 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院北京真空物理實(shí)驗(yàn)室 |
| 主分類號(hào)： | F04D19/04 | 分類號(hào)： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中國(guó)科學(xué)院專利事務(wù)所 | 代理人： | 李紅 |
| 地址： | 北京市海*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 本發(fā)明涉及一種具有過渡結(jié)構(gòu)部分的盤形渦輪復(fù)合分子泵。泵芯結(jié)構(gòu)從高真空端到低真空端依渦輪部分、過渡部分、盤形部分的順序串聯(lián)而成。過渡部分中的每一級(jí)由一片帶有渦輪葉齒的旋轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤和一片在盤面上開有特定線形抽氣溝槽的定圓盤組成。這種泵在高真空區(qū)和低真空區(qū)工作時(shí)都能得到理想的大流量和高壓縮比。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 渦輪 復(fù)合 分子 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1、一種泵芯結(jié)構(gòu)具有高真空端是渦輪部分，低真空端是盤形部分按串聯(lián)方式構(gòu)成的盤形渦輪復(fù)合分子泵，其特征在于泵芯的渦輪部分和盤形部分之間串接有盤形渦輪結(jié)構(gòu)作為過渡部分結(jié)構(gòu)。
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