[其他]盤形渦輪分子泵無效
| 申請號： | 87103982 | 申請日： | 1987-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN87103982A | 公開（公告）日： | 1988-12-21 |
| 發明（設計）人： | 朱岳;王孝珍;竺長新 | 申請（專利權）人： | 中國科學院北京真空物理實驗室 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中國科學院專利事務所 | 代理人： | 關玲,方國成 |
| 地址： | 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本發明涉及一種改進的盤形分子泵。該泵可由一級或多級串聯構成。每一級由一片帶有渦輪葉齒的旋轉圓盤和一片在盤面上開有圓弧線形抽氣溝槽或直線形抽氣溝槽的定圓盤組成。定圓盤上抽氣溝槽也可以是其他線形，如對數線形。多級泵定圓盤的兩側面都有抽氣溝槽。本泵具有制造工藝簡單，抽氣性能好等特點。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 渦輪 分子 | ||
【主權項】：
1、一種泵芯結構具有高真空端是渦輪部分，低真空端是盤形部分按串聯方式構成的盤形渦輪復合分子泵，其特征在于泵芯的渦輪部分和盤形部分之間串接有盤形渦輪結構作為過渡部分結構。
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