[其他]用光刻法處理薄金屬片的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 87102767 | 申請日： | 1987-04-10 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN87102767A | 公開（公告）日： | 1987-10-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 山本紀(jì)雄;川崎騰;神鳥武文;安滕良一 | 申請（專利權(quán)）人： | 大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | C23F1/00 | 分類號(hào)： | C23F1/00 |
| 代理公司： | 上海專利事務(wù)所 | 代理人： | 劉慶玫 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 一種制造有孔陰罩的處理薄金屬片的光刻方法。所述方法利用了一個(gè)支承層來支承金屬薄片。在金屬片上形成一個(gè)光刻膠層以確定圖案影像。透過確定圖案影像的光刻膠層的孔隙向金屬片表面供給一種腐蝕液以腐蝕金屬表面。然后將光刻膠層從金屬片上除去，并將金屬片從支承片上取出。最終的金屬片形成具有多重孔隙的陰罩。分別將兩個(gè)金屬片置于支承片的正反兩面并同時(shí)處理兩個(gè)金屬片，生產(chǎn)率可提高一倍。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用光 處理 金屬片 方法 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1、一種處理薄金屬片的方法，其特征在于包括下列步驟：將一支承片固定地加在所述金屬片的任何一個(gè)表面上；向所述金屬片的另一表面加一種光刻膠材料以在其上形成一個(gè)光刻膠層；向所述光刻膠層上暴光所期望的圖案影像；向所述光刻膠層上加顯影液以使所述光刻膠層上的所述圖案像顯影，從而露出一具有所期望的圖案的金屬片表面；向所述金屬片的表面加腐蝕液以腐蝕所露出的所述金屬片表面；從所述金屬片上清除所述光刻膠層；以及從所述金屬片上除去所述支承片。
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社，未經(jīng)大日本網(wǎng)目版制造株式會(huì)社許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/patent/87102767/，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 一種數(shù)據(jù)庫讀寫分離的方法和裝置
- 一種手機(jī)動(dòng)漫人物及背景創(chuàng)作方法
- 一種通訊綜合測試終端的測試方法
- 一種服裝用人體測量基準(zhǔn)點(diǎn)的獲取方法
- 系統(tǒng)升級方法及裝置
- 用于虛擬和接口方法調(diào)用的裝置和方法
- 線程狀態(tài)監(jiān)控方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種JAVA智能卡及其虛擬機(jī)組件優(yōu)化方法
- 檢測程序中方法耗時(shí)的方法、裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 函數(shù)的執(zhí)行方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
