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[其他]一種半導(dǎo)體硅元件的芯片支承體無(wú)效

專(zhuān)利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 87102044 申請(qǐng)日: 1987-06-23
公開(kāi)(公告)號(hào): CN87102044A 公開(kāi)(公告)日: 1988-05-25
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 蔡道松;劉汝模;黎德明;鄭堅(jiān) 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: 長(zhǎng)沙半導(dǎo)體材料廠
主分類(lèi)號(hào): H01L23/14 分類(lèi)號(hào): H01L23/14
代理公司: 中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司長(zhǎng)沙公司專(zhuān)利事務(wù)所 代理人: 徐洪男,蔣進(jìn)
地址: 湖南省長(zhǎng)*** 國(guó)省代碼: 湖南;43
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要: 一種半導(dǎo)體硅元件的芯片支承體。它是在多晶硅或特定的單晶硅中摻入0.20~0.50%的元素硼,0.08~0.30%的金屬鈦制備的P型多晶硅片。具有比鉬熱膨脹性小,與鋁粘潤(rùn)性好,表面處理容易,理化性能穩(wěn)定的特點(diǎn)。用它作芯片支承體制作的硅元件壓降低,成品率和等級(jí)合格率高,并能簡(jiǎn)化元件生產(chǎn)工藝。可用作大功率半導(dǎo)體硅電力元件和快速二極管等其它硅元件的芯片支承體。
搜索關(guān)鍵詞: 一種 半導(dǎo)體 元件 芯片 支承
【主權(quán)項(xiàng)】:
1、一種半導(dǎo)體硅元件的芯片支承體,它呈片狀,采用燒結(jié)或焊接工藝與芯片聯(lián)成一體,構(gòu)成管芯,其特征在于所述的芯片支承體是加入了0.20~0.50%的添加劑元素硼,0.08~0.30%的輔助添加劑金屬鈦的P型多晶硅片。
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