[其他]一種半導(dǎo)體硅元件的芯片支承體無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 87102044 | 申請(qǐng)日: | 1987-06-23 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN87102044A | 公開(kāi)(公告)日: | 1988-05-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 蔡道松;劉汝模;黎德明;鄭堅(jiān) | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 長(zhǎng)沙半導(dǎo)體材料廠 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L23/14 | 分類(lèi)號(hào): | H01L23/14 |
| 代理公司: | 中國(guó)有色金屬工業(yè)總公司長(zhǎng)沙公司專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人: | 徐洪男,蔣進(jìn) |
| 地址: | 湖南省長(zhǎng)*** | 國(guó)省代碼: | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | 一種半導(dǎo)體硅元件的芯片支承體。它是在多晶硅或特定的單晶硅中摻入0.20~0.50%的元素硼,0.08~0.30%的金屬鈦制備的P型多晶硅片。具有比鉬熱膨脹性小,與鋁粘潤(rùn)性好,表面處理容易,理化性能穩(wěn)定的特點(diǎn)。用它作芯片支承體制作的硅元件壓降低,成品率和等級(jí)合格率高,并能簡(jiǎn)化元件生產(chǎn)工藝。可用作大功率半導(dǎo)體硅電力元件和快速二極管等其它硅元件的芯片支承體。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 半導(dǎo)體 元件 芯片 支承 | ||
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