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[其他]三氯氫硅(SiHCl3)的制備無效

專利信息
申請號: 87100535 申請日: 1987-01-24
公開(公告)號: CN87100535A 公開(公告)日: 1987-11-25
發明(設計)人: 張崇玖 申請(專利權)人: 張崇玖
主分類號: C01B33/08 分類號: C01B33/08
代理公司: 江蘇省南通市專利服務部 代理人: 左一平
地址: 江蘇省南通市*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: SiHCl3(三氯氫硅)是制備高純多晶硅的主要原料。以往SiHCl3的合成是采用HCl氣體通入到加熱的硅粉中制備,用固定床反應時SiHCl3的產率只有60—70%。用沸騰床反應時可使SiHCl3的產率提高到80—90%,其余主要為SiCl4副產物。本發明是利用廢物SiCl4作為原料,與HCl一起通入到加熱的硅粉中,通過調節SiCl4通入量的大小,控制SiHCl3的收率,直至達到100%。
搜索關鍵詞: 三氯氫硅 sihcl3 制備
【主權項】:
1、三氯氫硅(SiHCl3)的合成方法,采用HCl氣體通入到加熱的硅粉中來制備,本發明的特征是:在通入HCl到加熱硅粉的同時,增加通入SiCl4,由調節SiCl4的通入量來控制SiHCl3的收率。
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