[其他]印刷線路板的圖案抗蝕法無效
| 申請號: | 87100339 | 申請日: | 1987-01-19 |
| 公開(公告)號: | CN87100339A | 公開(公告)日: | 1988-08-03 |
| 發明(設計)人: | 哈羅德·萊克;保羅·E·格蘭蒙特 | 申請(專利權)人: | 福克斯保羅公司 |
| 主分類號: | H05K3/06 | 分類號: | H05K3/06 |
| 代理公司: | 中國專利代理有限公司 | 代理人: | 肖掬昌 |
| 地址: | 美國馬*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | 一種在印刷線路板上繪制光抗蝕層或絕緣層圖案的方法,所利用的兩種光敏反應涂層由一光可處理的紫外光敏感層上覆一薄的未曝光未顯影的帶基銀膠片組成。一臺最好帶八角形孔徑的白光X-Y繪圖儀直接由CAD系統驅動,使板上的膠片以所需圖案曝光而不影響下伏的紫外光敏感層,再將板上的膠片顯影,并在紫外光泛光燈曝光板時作為下伏紫外光層在該處的掩模。紫外光曝光后剝去膠片,用常規法處理有選擇的聚合層。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 印刷 線路板 圖案 抗蝕法 | ||
【主權項】:
1、一種在印刷線路板基板上的光可處理層制作圖案的方法,其特征包括:準備一塊基板,其上層的光可處理材料對投射的第一光譜能量敏感,將一層對投射到基板的第二光譜能量敏感的未曝光、未顯影的照相成像膠片涂敷在光可處理層上,用一個自動光繪圖儀發射的一束包括所說第二光譜但基本上排斥所說第一光譜的光束有選擇地將基板上的所說膠片曝光,使膠片受到激發而不影響下伏的光可處理材料層,將基板上的膠片顯影,通過在所說膠片層顯影出的圖像作為在該處的掩模,使光可處理層在基板上基本均勻地分布的所說第一光譜中的能量下曝光,除去所說膠片層,以及處理所說光可處理層,從而可用低能量繪制創造出高分辨率的可檢查在板掩模。
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