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[其他]壓電陶瓷動態微位移補償器無效

專利信息
申請號: 86203862 申請日: 1986-06-02
公開(公告)號: CN86203862U 公開(公告)日: 1987-09-16
發明(設計)人: 陳懋圻;楊昌海 申請(專利權)人: 大連工學院
主分類號: B23Q23/00 分類號: B23Q23/00
代理公司: 大連工學院專利事務所 代理人: 花向陽
地址: 遼寧省大*** 國省代碼: 遼寧;21
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種壓電陶瓷動態微位移補償器,屬于非電變量的控制或調節系統,該補償器用鋯鈦酸鉛壓電陶瓷片疊堆而成,片與片之間不加銅箔,而用真空離子鍍滲工藝鍍上2—3μm厚的銅層,其靜動態性能良好,滿量程線性誤差小于0.6%;在500Hz以下,幅頻特性近似一水平直線。為在機床加工中,對加工誤差實現計算機補償控制提供了一種動態響應好的補償手段,以實現較低成本、更可靠地獲得高精度和特高精度的工件。
搜索關鍵詞: 壓電 陶瓷 動態 位移 補償
【主權項】:
1、一種壓電陶瓷動態微位移補償器,它包括高強度膠粘合、加壓和烘烤的壓電陶瓷片疊堆、極線[3]和外套[2],本實用新型的特征在于,具有經過研磨保證兩面的平面度及平行度誤差均不大于0.3μm,在兩面的同一直徑上互相錯開分別加工有小楔面,表面有用真空離子鍍法鍍上的厚度為2~3μm銅層,同極面的小楔面[5]對齊并焊成極點[4],焊在極點[4]上的同一極的極線聯在一起,從外套[2]的孔中引出的壓電陶瓷片[1]。
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