[其他]高精度雙邊差動式光電顯微鏡無效
| 申請號： | 86200360 | 申請日： | 1986-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN86200360U | 公開（公告）日： | 1987-10-28 |
| 發明（設計）人： | 賈友義;江濤 | 申請（專利權）人： | 青海量具刃具廠;青海省計量局 |
| 主分類號： | G01B9/04 | 分類號： | G01B9/04;G01B11/02 |
| 代理公司： | 青海省專利服務中心 | 代理人： | 王紹文 |
| 地址： | 青海省*** | 國省代碼： | 青海;63 |
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| 摘要： | 一種高精度雙邊差動式光電顯微鏡，屬于長度計量儀器。其主要特征在于光電轉換部分采用了雙邊差動式轉換方法，有效地抑制了光漂；光電系統利用遮光效應及小孔成像原理，光學像清晰，并可連續變倍。因此，對倍率、光強、光電接收面積等影響精度的主要因素，進行正交試驗以確定最佳匹配參數。該顯微鏡用于小尺寸、形狀復雜且精度要求高的工件(如千分尺絲桿螺紋及儀表齒輪輪廓等)進行動態瞄準，其瞄準極限誤差3σ≤±0.07μm。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 高精度 雙邊 差動 光電 顯微鏡 | ||
【主權項】：
1、一種高精度雙邊差動光電顯微鏡，由光源(1)經聚光鏡(2)發出平行光照亮工件(3)，工件(3)由顯微鏡(4)成像在像面(5)上，其特征在于像面(5)位于顯微鏡系統(7)的1倍焦距以內焦點F2附近，在顯微鏡(7)的像方焦點F′2后面的陰影區(9)內設一光電接收器(10)便可接到物體(3)的像，改變光電接收器(10)與焦點F′2之間的距離，即可改變像的大小。
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