[其他]低能電子譜儀分析柵無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 86200013 | 申請(qǐng)日： | 1986-01-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN86200013U | 公開（公告）日： | 1986-09-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 閻辰;趙裕民;胡平晟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)原子能科學(xué)研究院 |
| 主分類號(hào)： | H01J49/02 | 分類號(hào)： | H01J49/02;H01J49/26 |
| 代理公司： | 核工業(yè)部專利法律事務(wù)所 | 代理人： | 吳景夏,張水俤 |
| 地址： | 北京市2*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 本實(shí)用新型提供了一種改進(jìn)的低能電子譜儀分析柵，即蜂窩狀結(jié)構(gòu)分析柵，它是用金屬或絕緣材料表面涂以導(dǎo)電物質(zhì)制成的。該分析柵不但制造工藝簡(jiǎn)單，成本低，而且分辨率和透射率都超過了4線/毫米的雙層金屬柵網(wǎng)，分辨率優(yōu)于10-4，透射率優(yōu)于98％。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 低能 電子 分析 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1.一種低能電子譜儀用的分析柵，由金屬材料制成的平面或球面的電子束柵網(wǎng)組成，其特征在于柵網(wǎng)呈蜂窩狀結(jié)構(gòu)，蜂窩柵格的形狀為多邊形或者圓形，蜂窩柵格高度與蜂窩柵格孔徑的比值為1.5至10。
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