[其他]聚丁二烯系正型抗蝕劑及合成方法無效
| 申請號： | 86108059 | 申請日： | 1986-12-06 |
| 公開（公告）號： | CN86108059A | 公開（公告）日： | 1988-06-22 |
| 發明（設計）人： | 余尚先 | 申請（專利權）人： | 北京師范大學 |
| 主分類號： | C08F36/06 | 分類號： | C08F36/06;G03C1/37 |
| 代理公司： | 北京師范大學專利事務所 | 代理人： | 馬思渝 |
| 地址： | 北京市新街口*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本發明屬于聚丁二烯系感光性高分子合成法并由此產物制備正型抗蝕劑。由于該產物的結構既具有橡膠系高分子主鏈又在側鏈導入多個重氮萘醌磺酰基的同時使其具有足夠量的酚羥基或羧基，在與酚醛樹脂等混合作抗蝕劑使用時克服了由低分子酚酯化合物或一般感光性高分子組成的正型抗蝕劑成膜性能差、低溫性能和抗酸堿性能差的缺點，同時保持正型抗蝕劑解像力高、水系顯影和耐等離子刻蝕的優點。可廣泛用于集成電路抗蝕劑和PS版用感光劑。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 丁二烯 系正型抗蝕劑 合成 方法 | ||
【主權項】：
1、聚丁二烯系正型感光性高分子合成方法，該系化合物的結構[Ⅲ]為：n+m=15-45n/m=2-4，其特征在于：1.1用重均分子量1000～3000，環氧值0.3-0.6的1，2-聚丁二烯環氧與沒食子酸在催化劑N，N--二甲基芐胺作用下，以1，4-二氧六環為溶劑，反應溫度控制在100～130℃，而得到如下結構[I]的聚丁二烯沒食子酸酯：式中n、m取值同[Ⅲ]1.2用酸酐類化合物將聚丁二烯沒食子酸酯化，得到如下結構[Ⅱ]的復合酯化物：式中n、m取值同[Ⅲ]，1.3用上面兩步所得產物[I]、[Ⅱ]分別與不同比率的重氮萘醌磺酰氯在堿性脫HCl劑作用下得到聚丁二烯系正型感光性高分子[Ⅲ]。
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