【主權(quán)項】：

1、一種真空化學(xué)反應(yīng)設(shè)備，包括：在真空條件下可存放許多待處理物件的真空室；把真空室內(nèi)部的壓力抽空到一預(yù)定的低壓力值的抽氣裝置；抽氣裝置完成抽空操作后，把一種反應(yīng)性的氣體導(dǎo)入真空室內(nèi)，以便各個物件的表面能進行化學(xué)反應(yīng)的導(dǎo)氣裝置；將許多物件保持在真空室內(nèi)的物件保持裝置；將在真空室外的許多物件運送到位于真空室內(nèi)的物件保持裝置的傳輸裝置，其特征是：該物件保持裝置包括掛片架和從掛片架上伸展開來的許多掛片座，掛片座上有許多保持物件的支承構(gòu)件，以讓大量物件基本上掛滿掛片座的幾乎整個表面；該掛片架可在真空室內(nèi)移動，利用這一移動，至少有兩個被該物件支持構(gòu)件所支承的物件，可被輸送過既定的基本上是相同的平面；接受來自該物件支承構(gòu)件上至少兩個基本上是位于相同平面上的物件，并將其送到輸送裝置去的裝置。