[其他]濺射鍍膜設備的靶中陰極和接地屏蔽極的配置無效
| 申請號： | 86104429 | 申請日： | 1986-07-02 |
| 公開（公告）號： | CN86104429A | 公開（公告）日： | 1987-01-07 |
| 發明（設計）人： | 阿爾伯特·丹尼爾·格拉瑟 | 申請（專利權）人： | 西屋電氣公司 |
| 主分類號： | C23C14/36 | 分類號： | C23C14/36 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利代理部 | 代理人： | 盧寧,包冠乾 |
| 地址： | 美國賓*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 本發明涉及一種濺射鍍膜設備的靶[100]，此靶包括在其一個表面上配置有濺射靶材料[58]的陰極[56]和接地屏蔽極[84]，接地屏蔽極包圍陰極的除開配置濺射靶材料的一個表面以外的所有表面，并由于有一間隙[96]而與其中的陰極形成電絕緣。外周條形片[90]裝在具有靶材料的陰極表面的外周邊緣部分[66]上，形成一連續的外周凸緣[94]，以防止散落的被濺射材料的碎屑橋接間隙，從而防止陰極和接地屏蔽極之間發生短路。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 濺射 鍍膜 設備 陰極 接地 屏蔽 配置 | ||
【主權項】：
1、一種濺射鍍膜設備的靶，此靶包括一細長的陰極、濺射的靶材料和一接地屏蔽極，濺射的靶材料配置在該設備一側的陰極上的一個外表面上，接地屏蔽極使陰極被配置在其中并包括包圍陰極的壁，上述接地屏蔽極包圍陰極的除上述一個外表面以外的所有表面，在上述這一外表面上，接地屏蔽極是敞開的，使得上述的靶材料被露出來，上述陰極和接地屏蔽極彼此由一其間確定的間隙分開，并在電學上絕緣，靶的特征在于安裝在陰極[56]的上述外表面[60]上的外周邊緣部分[66]上的，形成一連續的外周凸緣[94]的裝置[90]，此外周凸緣側向向外凸出，超過上述外周邊緣部分[66]并凸出在上述間隙[96]之外，而且接地屏蔽極[84]的上述壁[88]的相鄰邊緣[86]與其成分離的狀態。
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