[其他]鍺酸鉍(BGO)單晶的表面拋光劑無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 86100517 | 申請(qǐng)日： | 1986-03-05 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN86100517B | 公開（公告）日： | 1988-03-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐潤元 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院上海硅酸鹽研究所 |
| 主分類號(hào)： | C09G1/02 | 分類號(hào)： | C09G1/02;C09G1/00;C09K3/14;B24B1/00 |
| 代理公司： | 中國科學(xué)院上海專利事務(wù)所 | 代理人： | 聶淑儀,潘振蘇 |
| 地址： | 上海市長寧*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 采用α-Al2O3〔精磨用粒度范圍是5＜d＜25(微米)；拋光用粒度范圍是1＜d＜5(微米)〕。為拋光磨料，0.5～20％(體積)丙三醇作為潤滑劑，合成樹脂拋光布作為拋光膜，以及水為載液，并按0.5～2公斤磨料(經(jīng)預(yù)處理的)加1～30升水，配成的拋光劑，用于BGO大單晶體的拋光，達(dá)到了優(yōu)質(zhì)(粗糙度分別達(dá)到Ra≤0.45，Ra≤0.03微米)、高效、低耗和無毒的效果。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鍺酸鉍 bgo 表面 拋光 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1.一種適合于BGO單晶體的表面拋光劑，其特征在于：a.所使用的拋光磨料(a-Al2O3)的粒度范圍是：精磨5＜d＜25微米；拋光1＜d＜5微米。b.拋光劑的組成及配比范圍是：磨料a-Al2O30.5～2公斤(經(jīng)預(yù)處理)潤滑劑丙三醇0.5～20％(體積)(按載液體積計(jì)算)載液水1～30升c.與拋光劑匹配的拋光膜是通常用于半導(dǎo)體硅單晶拋光用的合成樹脂拋光布。
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