[其他]多工作模式的液態(tài)金屬聚焦離子槍無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 85202460 | 申請日： | 1985-06-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN85202460U | 公開（公告）日： | 1986-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 華明達(dá);周風(fēng)聲;王亦曼;張貽英 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京師范大學(xué);電子工業(yè)部北京第12研究所 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/08 | 分類號(hào)： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京師范大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人： | 吳圣谷,邢同琪 |
| 地址： | 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 多工作模式的液態(tài)金屬聚焦離子槍是適用科研用途的微細(xì)加工和分析之工具。其特點(diǎn)在于①采用固定電極，②陽極針可作大幅度滑動(dòng)，③配以不同的電極接線位置，從而構(gòu)成多種工作模式。其中有將陽極針伸出第一電極，以第一電極為柵極，第二電極為引出極，構(gòu)成柵控工作模式；此外還可構(gòu)成離子源方式、簡單聚焦離子槍方式、能量調(diào)節(jié)方式等。采用可多裝料的鉭制同軸針外套。并且可從尾部任意換用同軸針型陽極或毛細(xì)管型陽極。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 工作 模式 液態(tài) 金屬 聚焦 離子 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1、一種以改變陽極針〔1〕與引出電極〔3〕和〔5〕的相對(duì)位置而決定工作模式的液態(tài)金屬聚焦離子槍，其特征是，電極〔3〕和〔5〕是固定的，陽極針〔1〕連接到滑桿〔10〕上，而滑桿〔10〕又在支座〔9〕中沿Z軸可作大幅度滑動(dòng)。
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