[其他]多工作模式的液態金屬聚焦離子槍無效
| 申請號： | 85202460 | 申請日： | 1985-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN85202460U | 公開（公告）日： | 1986-04-16 |
| 發明（設計）人： | 華明達;周風聲;王亦曼;張貽英 | 申請（專利權）人： | 北京師范大學;電子工業部北京第12研究所 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 北京師范大學專利事務所 | 代理人： | 吳圣谷,邢同琪 |
| 地址： | 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | 多工作模式的液態金屬聚焦離子槍是適用科研用途的微細加工和分析之工具。其特點在于①采用固定電極，②陽極針可作大幅度滑動，③配以不同的電極接線位置，從而構成多種工作模式。其中有將陽極針伸出第一電極，以第一電極為柵極，第二電極為引出極，構成柵控工作模式；此外還可構成離子源方式、簡單聚焦離子槍方式、能量調節方式等。采用可多裝料的鉭制同軸針外套。并且可從尾部任意換用同軸針型陽極或毛細管型陽極。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 工作 模式 液態 金屬 聚焦 離子 | ||
【主權項】：
1、一種以改變陽極針〔1〕與引出電極〔3〕和〔5〕的相對位置而決定工作模式的液態金屬聚焦離子槍，其特征是，電極〔3〕和〔5〕是固定的，陽極針〔1〕連接到滑桿〔10〕上，而滑桿〔10〕又在支座〔9〕中沿Z軸可作大幅度滑動。
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