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[其他]多工作模式的液態(tài)金屬聚焦離子槍無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 85202460 申請日: 1985-06-26
公開(公告)號(hào): CN85202460U 公開(公告)日: 1986-04-16
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 華明達(dá);周風(fēng)聲;王亦曼;張貽英 申請(專利權(quán))人: 北京師范大學(xué);電子工業(yè)部北京第12研究所
主分類號(hào): H01J37/08 分類號(hào): H01J37/08
代理公司: 北京師范大學(xué)專利事務(wù)所 代理人: 吳圣谷,邢同琪
地址: 北京市*** 國省代碼: 北京;11
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 多工作模式的液態(tài)金屬聚焦離子槍是適用科研用途的微細(xì)加工和分析之工具。其特點(diǎn)在于①采用固定電極,②陽極針可作大幅度滑動(dòng),③配以不同的電極接線位置,從而構(gòu)成多種工作模式。其中有將陽極針伸出第一電極,以第一電極為柵極,第二電極為引出極,構(gòu)成柵控工作模式;此外還可構(gòu)成離子源方式、簡單聚焦離子槍方式、能量調(diào)節(jié)方式等。采用可多裝料的鉭制同軸針外套。并且可從尾部任意換用同軸針型陽極或毛細(xì)管型陽極。
搜索關(guān)鍵詞: 工作 模式 液態(tài) 金屬 聚焦 離子
【主權(quán)項(xiàng)】:
1、一種以改變陽極針〔1〕與引出電極〔3〕和〔5〕的相對(duì)位置而決定工作模式的液態(tài)金屬聚焦離子槍,其特征是,電極〔3〕和〔5〕是固定的,陽極針〔1〕連接到滑桿〔10〕上,而滑桿〔10〕又在支座〔9〕中沿Z軸可作大幅度滑動(dòng)。
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

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