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[其他]電子顯微鏡制樣用真空鍍膜機無效

專利信息
申請號: 85202348 申請日: 1985-06-13
公開(公告)號: CN85202348U 公開(公告)日: 1986-05-28
發明(設計)人: 周賢才 申請(專利權)人: 南昌航空學院
主分類號: C23C14/24 分類號: C23C14/24
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 江西省南昌*** 國省代碼: 江西;36
權利要求書: 暫無信息 說明書: 暫無信息
摘要: 一種用于制備電子顯微鏡樣品的真空鍍膜機。目前國內外上述用途的真空鍍膜機都只能用電阻法加熱投影重金屬,電阻法不能有效地蒸發鎢、鉑等難蒸發材料。為解決鎢和鉑的蒸發問題,采用在現有的真空鍍膜機中安裝一個低加速電壓、小功率的電子槍,達到了有效地蒸發鎢和鉑的目的。采用鎢投影的電子顯微鏡樣品的分辨率比用鉻投影高出四倍;用此法進行鉑投影比電阻法鉑——碳投影有操作簡便,成功率高、對樣品的熱損傷小等優點。
搜索關鍵詞: 電子顯微鏡 制樣用 真空鍍膜
【主權項】:
1、一種電子顯微鏡制樣用的真空鍍膜機,其特征是在現有的電鏡制樣真空鍍膜機中安裝一個電子槍,使具有電子束加熱的功能。
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