[其他]電子顯微鏡制樣用真空鍍膜機無效
| 申請號: | 85202348 | 申請日: | 1985-06-13 |
| 公開(公告)號: | CN85202348U | 公開(公告)日: | 1986-05-28 |
| 發明(設計)人: | 周賢才 | 申請(專利權)人: | 南昌航空學院 |
| 主分類號: | C23C14/24 | 分類號: | C23C14/24 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 江西省南昌*** | 國省代碼: | 江西;36 |
| 權利要求書: | 暫無信息 | 說明書: | 暫無信息 |
| 摘要: | 一種用于制備電子顯微鏡樣品的真空鍍膜機。目前國內外上述用途的真空鍍膜機都只能用電阻法加熱投影重金屬,電阻法不能有效地蒸發鎢、鉑等難蒸發材料。為解決鎢和鉑的蒸發問題,采用在現有的真空鍍膜機中安裝一個低加速電壓、小功率的電子槍,達到了有效地蒸發鎢和鉑的目的。采用鎢投影的電子顯微鏡樣品的分辨率比用鉻投影高出四倍;用此法進行鉑投影比電阻法鉑——碳投影有操作簡便,成功率高、對樣品的熱損傷小等優點。 | ||
| 搜索關鍵詞: | 電子顯微鏡 制樣用 真空鍍膜 | ||
【主權項】:
1、一種電子顯微鏡制樣用的真空鍍膜機,其特征是在現有的電鏡制樣真空鍍膜機中安裝一個電子槍,使具有電子束加熱的功能。
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