[其他]一種單晶材料的抗彎曲強(qiáng)度機(jī)械測(cè)量裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 85201254 | 申請(qǐng)日： | 1985-04-01 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN85201254U | 公開(kāi)（公告）日： | 1986-06-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 顧孝義;宗祥福 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 復(fù)旦大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | G01N3/20 | 分類(lèi)號(hào)： | G01N3/20 |
| 代理公司： | 復(fù)旦大學(xué)專利事務(wù)所 | 代理人： | 王福新 |
| 地址： | 上海市邯鄲*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | 該裝置是針對(duì)各向異性的晶體材料需進(jìn)行抗彎曲強(qiáng)度測(cè)量而提出來(lái)的。該裝置包括一個(gè)特殊設(shè)計(jì)的樣品架，一套由下而上連續(xù)加載測(cè)力機(jī)構(gòu)和位移傳感器。它可以通過(guò)調(diào)節(jié)樣品架上24個(gè)螺釘位置，使單晶片與樣品架呈多點(diǎn)式接觸，以適應(yīng)(100)、(111)等晶向材料的抗彎曲強(qiáng)度測(cè)量。測(cè)量不用切割樣品，并能用于φ33φ125毫米各種圓片材料的直接測(cè)量。該裝置是半導(dǎo)體器件工藝過(guò)程中，控制投片質(zhì)量的理想檢測(cè)工具。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 材料 彎曲 強(qiáng)度 機(jī)械 測(cè)量 裝置 | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1、一種單晶材料抗彎曲強(qiáng)度機(jī)械測(cè)量裝置，由樣品架、加載測(cè)力機(jī)構(gòu)、帶有一只千分表的測(cè)位移傳感器和電阻式應(yīng)變測(cè)試儀組成。本實(shí)用新型特征在于：樣品架由可以放置各種直徑單晶圓片的圓形樣品架[1]。固定樣品的內(nèi)卡圈[2]組成。測(cè)力加載機(jī)構(gòu)由一只加載齒輪[12]加載絲桿[8]與其配套的“T”型下導(dǎo)向器[9]組成。測(cè)力傳感器由扁環(huán)形合金材料傳感器[7]，“T”型上導(dǎo)向器[5]，上加載機(jī)構(gòu)[3]組成。
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