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[其他]二維電子氣發(fā)射極半導(dǎo)體器件無效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 85107336 申請(qǐng)日: 1985-10-03
公開(公告)號(hào): CN85107336A 公開(公告)日: 1987-05-20
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 朱恩均 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 南京電子器件研究所
主分類號(hào): H01L29/70 分類號(hào): H01L29/70;H01L29/00
代理公司: 電子工業(yè)部專利服務(wù)中心 代理人: 許兆鵬
地址: 江蘇省南*** 國(guó)省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: N型半導(dǎo)體基片用離子注入工藝制成P型基區(qū)之后,用任何一種工藝方法例如CVD法淀積滿足下列要求的發(fā)射極材料1)寬禁帶、低空穴遷移率;2)電子親和勢(shì)低;3)與襯底材料間的界面態(tài)密度低、同時(shí)能重?fù)诫s。則可制成二維電子氣發(fā)射極半導(dǎo)體器件,即在發(fā)射極結(jié)界面的襯底材料一側(cè)形成相當(dāng)于重?fù)诫s發(fā)射極的二維電子氣層的半導(dǎo)體器件。
搜索關(guān)鍵詞: 二維 電子 發(fā)射極 半導(dǎo)體器件
【主權(quán)項(xiàng)】:
1、二維電子氣發(fā)射極半導(dǎo)體器件。N型半導(dǎo)體基片用離子注入工藝(或任何一種工藝)制成P型基區(qū)之后,用任何一種工藝?yán)鏑VD工藝淀積滿足下列要求的發(fā)射極材料:(1)寬禁帶、低空穴遷移率;(2)電子親和勢(shì)低,(3)與襯底材料間的界面態(tài)密度低、同時(shí)能重?fù)诫s。則可制成二維電子氣發(fā)射極半導(dǎo)體器件,即在發(fā)射極結(jié)的襯底材料一側(cè)形成相當(dāng)于重?fù)诫s發(fā)射極的二維電子氣層的半導(dǎo)體器件。
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