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[其他]金屬零件表面形成硫化物層的方法及設備無效

專利信息
申請號: 85106828 申請日: 1985-09-10
公開(公告)號: CN85106828B 公開(公告)日: 1987-09-09
發明(設計)人: 張戈飛 申請(專利權)人: 張戈飛
主分類號: C23C8/36 分類號: C23C8/36
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利代理部 代理人: 包冠乾
地址: 北京市西四磚*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要: 一種通過硫的加熱氣化而在金屬零件表面形成硫化物層的方法及其設備,被滲金屬零件放置在真空反應室中的陰極盤上,同時在真空反應室中還放有盛有固體硫的蒸發器,蒸發器由低壓電源來加熱。固體硫在真空情況下通過加熱而氣化,氣體硫在陰極和陽極之間所加的直流高壓電場作用之下電離并進行輝光放電,在輝光放電下正離子硫轟擊位于陰極盤上的金屬零件,使其表面形成硫化物層。
搜索關鍵詞: 金屬 零件 表面 形成 硫化物 方法 設備
【主權項】:
1、一種通過硫的加熱氣化而在金屬零件表面形成硫化物層的方法,該方法由下列部分組成:將被滲金屬零件放置在真空爐內反應室中的陰極盤上,同時在真空爐中還放置有固體硫,固體硫在真空爐抽真空情況下(真空度為1~10-2托)進行加熱并達到沸點而氣化,氣化硫充滿反應室中,此時在陰極和陽極之間施加一電場,硫氣體在電場作用下電離,正離子硫轟擊位于陰極盤上的金屬零件,從而使其表面形成硫化物層,該方法的特征在于,固體硫直接加熱氣化,氣化硫在直流高壓電場作用下電離并產生輝光放電,在輝光放電條件下對金屬零件進行表面滲硫。
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