[其他]掃描式投影光刻機物鏡無效
| 申請號： | 85104369 | 申請日： | 1985-06-08 |
| 公開（公告）號： | CN85104369B | 公開（公告）日： | 1988-06-29 |
| 發明（設計）人： | 王之江 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G02B17/00 | 分類號： | G02B17/00;G02B9/12;G03F7/207 |
| 代理公司： | 中國科學院上海專利事務所 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 上海82*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 一種用于掃描式投影光刻機的物鏡，由球面全反射鏡、球面副反射鏡和一球殼形校正透鏡組成，該物鏡的環帶視場狹縫達10mm，適用于3600?！?400，還可在2000波段使用。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 掃描 投影 光刻 物鏡 | ||
【主權項】：
1.一種用于掃描式投影光刻機的單心式物鏡，由球面主反射鏡1、球面付反射鏡2和校正透鏡3組成，其特征在于所說的校正透鏡為一球殼形透鏡，由共同的球心向外依次配置所說的球殼形校正透鏡、球面付反射鏡和球面主反射鏡並滿足下列關系：r2＝(0.44～0.53)r1r3＝(0.26～0.39)r1s＝(0.02～0.03)r1d1＝r1-r2d2＝r1-r3其中r1、r2分別是球面主反射鏡和球面付反射鏡的曲率半徑，r3和s分別為球殼形校正透鏡的曲率半徑和厚度，d1為球面主反射鏡到球面付反射鏡之間的距離，d2為球面主反射鏡到球殼形校正透鏡的距離。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院上海光學精密機械研究所，未經中國科學院上海光學精密機械研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/patent/85104369/，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
