【主權項】：

1.在充分均勻的第一材料層上形成至少一個窄溝槽的方法，其中的溝槽寬度由自對準方式決定，本方法的特征在于，在襯底區的主表面上提供一個第一掩模層，該掩模層至少有一個窗口或凹槽，至少在窗口區處以及在鄰接的掩模層上面涂上一層充分均勻的第一材料，該材料層在窗口區處有一個凹槽，同時在第一材料層的上面接著覆蓋一層充分均勻的第二掩模材料層以及充分均勻的第一轉化層，在第一掩模層的初始窗口內的第二掩模層和第一轉化層里保留一個凹槽，對第一可轉化材料層進行有選擇的轉化處理從而生成中間掩模，用這種方法至少沿著第二掩模材料層凹槽的內沿形成一個窗口，此后用在第二掩模材料層里形成的掩模，在第一材料層中得到溝槽，所述對第一可轉化材料層進行有選擇的轉化處理，包括該第一可轉化層被一層充分均勻的第三層掩模材料所覆蓋，將該層進行有選擇的腐蝕處理，使得至少沿第一可轉化層里凹槽的內沿的第三掩模層被保留下來，它能保護第一可轉化層不被轉化。