[其他]監(jiān)控光學(xué)鍍膜厚度的雙光束光學(xué)系統(tǒng)無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 85101725 | 申請(qǐng)日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN85101725B | 公開（公告）日： | 1987-10-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王占青 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/06 | 分類號(hào)： | G01B11/06;C23C14/54 |
| 代理公司： | 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春專利事務(wù)所 | 代理人： | 劉樹清 |
| 地址： | 吉林省長(zhǎng)*** | 國(guó)省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 監(jiān)控光學(xué)鍍膜厚度的雙光束光學(xué)系統(tǒng)形式上和已有的透射式單光束光學(xué)系統(tǒng)相同，差別是在角可變?yōu)V光片(或單色儀出狹縫)之后置一塊等雙孔光欄，分單束光為參考和測(cè)量?jī)墒猓儆秒p排孔調(diào)制扇分別調(diào)制這兩束光，使測(cè)量光束通過監(jiān)控片，使參考光束從監(jiān)控片旁邊通過，于是構(gòu)成全對(duì)稱透射式雙光束光學(xué)系統(tǒng)。它使電子學(xué)系統(tǒng)容易解決基線平直度、漂移、噪聲、雜光信號(hào)和電磁場(chǎng)信號(hào)干擾，以致于真空室窗口濺射膜的影響都可以完全消除。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 監(jiān)控 光學(xué) 鍍膜 厚度 光束 光學(xué)系統(tǒng) | ||
【主權(quán)項(xiàng)】：
1.一種監(jiān)控光學(xué)鍍膜厚度的雙光束光學(xué)系統(tǒng)，由光源、雙孔光欄、調(diào)制器、透鏡、監(jiān)控片及接收器組成，其特征是：調(diào)制器為雙排孔調(diào)制扇〔5〕，在光源〔2〕與等雙孔光欄〔4〕之間置有角可變?yōu)V光片〔3〕，雙排孔調(diào)制扇〔5〕、透鏡〔6〕、監(jiān)控片〔8〕及接收器〔10〕與光軸垂直依次置于等雙孔光欄〔4〕之后，監(jiān)控片〔8〕置于真空室中，與等雙孔光欄〔4〕中通過測(cè)量光束的孔處在透鏡〔6〕的共軛像面位置上。
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