[其他]渦輪分子泵無效
| 申請號： | 85101627 | 申請日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN85101627A | 公開（公告）日： | 1987-03-25 |
| 發明（設計）人： | 成田清;川口壽一 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | F04D19/04 | 分類號： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 曹永來 |
| 地址： | 日本京都*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | 轉子轉動進行抽氣的渦輪分子泵，有一組由互相交替排列的轉子組成的葉片和定子葉片，在所述的排氣口側或中間部分的葉片組中有壓縮比增大的部位。壓縮比增大部位有一個轉子，其葉片厚度大于更接近吸氣口側的轉子。這種渦輪分子泵有低真空度階段的優良的抽氣效率。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 渦輪 分子 | ||
【主權項】：
1、轉子轉動進行抽氣的渦輪分子泵，其特征是，該泵有一組由互相交替排列的轉子和定子葉片組成的葉片組，在所述的葉片組中有壓縮比增大的部位位于排氣口側的一分部，所述的壓縮比增大部位至少有一個轉子，其厚度大于比其更接近于吸氣口側的至少是一個的轉子的厚度。
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