[其他]表面聲波溝槽諧振器的制作工藝無效
| 申請號： | 85100717 | 申請日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN85100717B | 公開（公告）日： | 1987-12-09 |
| 發明（設計）人： | 周先明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院聲學研究所 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 北京市海淀區*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 本發明的要點在于對制作ＳＡＷ器件的光刻、套刻和鍍膜的工藝過程中，采用了去離子水、橡皮泥球、通入純氧和烘烤的步驟，這就可以減少了紫外線在掩膜板與基片界面上的光反射和光折射，使得掩模版與基片得到良好的支撐和吻合，提高了除氣去污的能力，從而提高了光刻分辨率、套刻的精度，保證了鍍膜的質量。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 表面 聲波 溝槽 諧振器 制作 工藝 | ||
【主權項】：
1、一種制作SAW器件的制作工藝，其特征在于采用在基片和掩模版中間夾有去離子水，橡膠泥作基片底部的軟支撐，在初抽真空時通入高純氧和燒烤的工藝過程。
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