[其他]多束金屬和氣體粒子束發生裝置無效
| 申請號： | 85100610 | 申請日： | 1985-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN1004664B | 公開（公告）日： | 1989-06-28 |
| 發明（設計）人： | 江興流 | 申請（專利權）人： | 蘭州大學 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 蘭州大學專利事務所 | 代理人： | 郭書軍;吳大明 |
| 地址： | 甘肅省蘭州市*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 多束金屬和氣體粒子束發生裝置，放電室由金屬極板和絕緣片交替迭起構成，金屬極板上至少有兩個孔，不同金屬極板上的孔數相同或不同。該裝置可產生多束電子束和金屬離子束，處理面積大，被處理材料的表面性能將產生很大的變化，應用范圍很廣。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 金屬 氣體 粒子束 發生 裝置 | ||
【主權項】：
1、多束金屬和氣體粒子束發生裝置，放電室由金屬極板(3〕和絕緣片〔2〕交替迭起構成，本發明的特征是金屬極板(3)上的孔是兩個或兩個以上的，不同金屬極板上的孔數相同或不同。
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