[其他]一種極微流量氣體取樣微漏孔的制造方法在審
| 申請號： | 101985000007238 | 申請日： | 1985-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN1006090B | 公開（公告）日： | 1989-12-13 |
| 發明（設計）人： | 王欲知;劉建生 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 電子科技大學專利中心 | 代理人： | 李曉洪;武登祥 |
| 地址： | 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本發明是一種新型極微流量氣體取樣微漏孔的制造方法。該方法是在一平面玻璃上，制作范圍為１微米到２０微米的小孔（微漏孔）；該孔是通過高速鉆削；化學腐蝕和電擊穿三道工序制作而成。用本方法制作的微漏孔用在含氣器件和設備的微量氣體取樣中具有漏率穩定；不易堵塞、質量歧視小的優點。 | ||
| 搜索關鍵詞： | 一種 極微 流量 氣體 取樣 漏孔 制造 方法 | ||
【主權項】：
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