[其他]在材料(例如半導(dǎo)體材料)中加工亞微型槽的方法以及用這種方法制成的器件在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 101985000003535 | 申請日： | 1985-05-06 |
| 公開（公告）號： | CN85103535B | 公開（公告）日： | 1988-08-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 阿佩爾斯;馬斯 | 申請（專利權(quán)）人： | 菲利浦光燈制造公司 |
| 主分類號： | 分類號： | ||
| 代理公司： | 中國專利代理有限公司 | 代理人： | 林長安 |
| 地址： | 荷蘭艾*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | 在階梯形材料層上覆蓋第一材料層，該層也有階梯不平的凹槽，并在它上面生成第二掩模層和轉(zhuǎn)化層，對轉(zhuǎn)化層進行轉(zhuǎn)化而成為可選擇的腐蝕層，在除下未轉(zhuǎn)化的部分之后，在第二掩模層中沿凹槽邊沿形成帶開口的中間掩模層。用中間掩模對第一材料層進行各向異性腐蝕處理生成溝槽。根據(jù)情況在下一層襯底區(qū)中也生成溝槽。為了形成絕緣區(qū)用氧化硅填在這些槽里。如果在硅的襯底區(qū)的上面用的是多晶硅第一材料層，則該層可分別作為摻雜質(zhì)的源以及供連接用，于是可以制造各種類型的晶體管。 | ||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 材料 例如 半導(dǎo)體材料 加工 微型 方法 以及 這種方法 制成 器件 | ||
【主權(quán)項】：
暫無信息
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于菲利浦光燈制造公司，未經(jīng)菲利浦光燈制造公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/patent/101985000003535/，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 上一篇：具有陰極射線管和透鏡的投影系統(tǒng)
- 下一篇：一種圖象成象裝置
- 同類專利
- 專利分類
