[發(fā)明專利]狹小縫隙直線度與平面度的測量方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310477346.6 | 申請日： | 2013-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN104567748B | 公開（公告）日： | 2018-06-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉晶;張擁軍;徐瀛杰 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海金藝檢測技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/27 | 分類號： | G01B11/27;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海天協(xié)和誠知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31216 | 代理人： | 張恒康 |
| 地址： | 201900 上海市寶山區(qū)*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 測量 狹縫 平面度 光學(xué)測量設(shè)備 狹小縫隙 直線度 標靶 測量端子 測量面 下平面 采集 中輔助裝置 可靠運行 安插 滑動 垂直度 階梯面 上平面 外端面 圓環(huán)形 測點 保證 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種狹小縫隙直線度與平面度的測量方法，其特征在于本測量方法包括如下步驟：
步驟一、制作輔助裝置，輔助裝置包括階梯測量塊和圓環(huán)形測量端子，所述測量端子設(shè)于所述階梯測量塊的上平面，所述階梯測量塊下平面的平面度小于0.01mm，所述階梯測量塊的階梯面的平面度小于0.01mm、垂直度小于0.01mm；將輔助裝置的階梯測量塊安插于狹縫中，階梯測量塊的下平面與狹縫所需測量的平面相接觸，階梯測量塊的階梯面抵靠于狹縫外端面，將光學(xué)測量設(shè)備的標靶安放于圓環(huán)形測量端子上；
步驟二、通過光學(xué)測量設(shè)備采集標靶的參數(shù)，將階梯測量塊沿狹縫端面滑動并階梯面緊貼狹縫端面，通過光學(xué)測量設(shè)備分別采集標靶在狹縫測量面各測點的參數(shù)，以完成狹縫測量面各測點數(shù)據(jù)采集；
步驟三、通過光學(xué)測量設(shè)備對采集的狹縫測量面各測點數(shù)據(jù)進行模擬、分析和計算，得到狹縫測量面的直線度、平面度數(shù)據(jù)。
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