[發明專利]一種基于模擬退火法的軟邊光闌整形相位優化方法有效
| 申請號： | 202110851520.3 | 申請日： | 2021-07-27 |
| 公開（公告）號： | CN113485011B | 公開（公告）日： | 2023-03-21 |
| 發明（設計）人： | 姚明亮 | 申請（專利權）人： | 南通智能感知研究院 |
| 主分類號： | G02B27/00 | 分類號： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 226000 江蘇省南通市崇川區中*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 模擬 火法 光闌 整形 相位 優化 方法 | ||
1.一種基于模擬退火法的軟邊光闌整形相位優化方法，其特征在于，包括如下步驟：
S1、根據以下公式，確定軟邊光闌復振幅透射率分布：
式中，t(x,y)表示復振幅透射率分布，w0表示超高斯軟邊光闌的束腰半徑，n表示超高斯階數；
S2、通過誤差擴散法，確定軟邊光闌振幅值分布；
S3、通過雙相位編碼方法將振幅型軟邊光闌轉化為相位型軟邊光闌；
S4、將通過雙相位編碼方法得到的相位分布作為模擬退火法的初始解，根據評價函數，以相傳遞面和光束傳播一定距離的離焦面為優化目標，不斷迭代得到所枚舉權重因子下的最優解；
S5、更改權重因子，重復步驟S4，得到不同權重因子下的最優解；
S6、比較不同權重因子下的最優解，輸出評價函數值最小時對應權重因子下的最優解，得到軟邊光闌的最優相位值分布。
2.如權利要求1所述的一種基于模擬退火法的軟邊光闌整形相位優化方法，其特征在于，所述步驟S1中的超高斯階數n選取10～30之間的任意一整數。
3.如權利要求1所述的一種基于模擬退火法的軟邊光闌整形相位優化方法，其特征在于，所述步驟S4中的評價函數形式為：
式中，ω1、ω2為權重因子，且滿足ω1+ω2＝1；εrms(i1)為相傳遞面均方根函數；εrms(i2)為離焦面均方根函數。
4.如權利要求3所述的一種基于模擬退火法的軟邊光闌整形相位優化方法，其特征在于，所述相傳遞面均方根函數和離焦面均方根函數形式均為：
式中，Ii(x,y)表示第i個菲涅爾數位置處光強分布，I(x,y)表示理想光強分布。
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