[發(fā)明專利]用可拉伸模具在基片上精密壓制和對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 99814897.0
• 申請(qǐng)日: 1999-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN1331835A
• 公開（公告）日: 2002-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: R·C·丘;T·L·胡普曼;P·E·漢帕爾;V·W·金;K·R·狄龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美國(guó)3M公司
• 主分類號(hào): H01J9/24
• 分類號(hào): H01J9/24
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 李湘

發(fā)明領(lǐng)域

本發(fā)明一般涉及在有圖案基片上形成和對(duì)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)的方法。具體而言，本發(fā)明涉及在顯示應(yīng)用方面在有圖案基片上模壓和對(duì)準(zhǔn)玻璃、陶瓷和/或金屬結(jié)構(gòu)的方法以及具有用可拉伸模具模壓與對(duì)準(zhǔn)的擋肋的顯示器。

背景技術(shù)

顯示技術(shù)的進(jìn)步，其中包括等離子體顯示面板(POP)與等離子體尋址液晶(PALC)顯示器的開發(fā)，導(dǎo)致人們關(guān)注于在玻璃基片上形成電絕緣的陶瓷擋肋。陶瓷擋肋分開了其中用相對(duì)電極之間施加的電場(chǎng)激發(fā)惰性氣體的顯示單元。氣體放電在單元內(nèi)發(fā)出紫外(UV)輻射。在PDP中，單元內(nèi)部涂有熒光粉，受UV輻射時(shí)會(huì)發(fā)出紅、綠或藍(lán)色可見光。在顯示器中，單元的尺寸決定了像素的尺寸。在高清晰度電視(HDTV)或其它數(shù)字電子顯示器中，例如可將PDP與PALC顯示器用作顯示屏。

制作PDP的陶瓷擋肋有各種方法。一種方法是重復(fù)絲網(wǎng)印刷。在該方法中，絲網(wǎng)中基片上對(duì)準(zhǔn)，印刷一薄層擋肋材料，絲網(wǎng)拿掉后，材料硬化。由于該技術(shù)能印刷的材料量不足以形成期望高度的肋(一般約100～200μm)，所以要重新對(duì)準(zhǔn)絲網(wǎng)，在第一層頂部印刷第二層擋肋材料，然后使第二層硬化。肋材料層反復(fù)地印刷和硬化，直到達(dá)到所需的擋肋高度。這種方法需要多次對(duì)準(zhǔn)與硬化，導(dǎo)致加工時(shí)間長(zhǎng)，而且擋肋的整個(gè)型面形狀的控制很差。

另一種方法涉及到掩蔽與噴砂。在該方法中，將有電極的基片涂上部分燒制的擋肋材料，然后用普通石印術(shù)將掩模加到擋材料。掩模加在電極之間的區(qū)域上。然后，基片經(jīng)噴砂除去掩模露出的擋肋材料。最后，取下掩模，擋肋經(jīng)繞制而完成。這種方法只要一次對(duì)準(zhǔn)步驟，所以比多次絲網(wǎng)印刷法更精確。然而，由于制成的基片覆蓋有擋肋的面積很小，所以大部分擋肋材料必須靠噴砂除去，大量廢料增大了生產(chǎn)成本。此外，由于擋肋材料通常包括鉛基玻璃料，去除材料的環(huán)境處理是個(gè)問題。而且，雖然肋條位置在噴砂后可能相當(dāng)精確，但是肋條的整個(gè)形狀(包括縱橫比)很難控制。

另一種工藝應(yīng)用普通的光刻技術(shù)形成擋肋材料圖案。在該技術(shù)中，擋肋材料包括一種光敏抗蝕刻。擋肋材料涂到電極上面的基片上，通常是把條形擋肋材料層迭到基片上。將掩模加在擋肋材料上，材料由輻射曝光，取掉掩模，使材料暴露的區(qū)域顯影，再?zèng)_洗掉擋肋材料而形成肋結(jié)構(gòu)。該工藝的精度很高。然而，像噴砂一樣，由于整塊基片起初涂有擋肋材料，而肋是靠材料去除而形成圖案的，所以廢料很多。

還有一種工藝涉及到用模具來制作擋肋，這可以在基片上直接模壓，或先在傳遞片上模壓，再將肋傳遞給基片。在基片上直接模壓涉及到對(duì)基片或模具涂覆擋肋材料，將模具壓向基片，使基片上材料硬化，再取下模具。例如，日本已公開的專利申請(qǐng)NO.9-134676揭示了一種方法，采用金屬或玻璃模具使擋肋在玻璃基片上成形，擋肋包括散布在粘合劑中的玻璃或陶瓷粉。日本已公開專利申請(qǐng)NO.9-147754揭示了同一種工藝，用模具將電極與擋肋同時(shí)傳遞到基片上，使擋肋硬化并取下模具后，擋肋經(jīng)燒結(jié)除去粘合劑。

歐洲專利申請(qǐng)EP0836892A2描述了將粘合劑中的玻璃或陶瓷粉混合物印刷到傳遞片上的方法，用輥或板凸版在傳遞片上將材料印刷成擋肋狀，然后將基片對(duì)著傳送片上的肋材料加壓，使材料粘附于基片。基片上的肋材料固化后，再燒結(jié)。傳遞膜可在燒結(jié)前取下，或在燒結(jié)時(shí)燒掉。

發(fā)明內(nèi)容

雖然直接模壓產(chǎn)生的廢料比噴砂或石印術(shù)更少，而對(duì)準(zhǔn)步驟又比絲網(wǎng)印刷少，但是模具要與擋肋材料反復(fù)一次地分離，而且要為每塊獨(dú)特的顯示器基本制作一個(gè)獨(dú)立的模具，如考慮到玻璃基片團(tuán)不同批量或不同供應(yīng)商而造成收縮系數(shù)發(fā)生變化，要對(duì)擋肋間距尺寸略作調(diào)節(jié)。

若起初將擋肋壓制到傳遞片上，則該方法具有直接模壓法同樣的缺點(diǎn)。此外，帶肋材料的傳遞片必須與基片上的電極對(duì)準(zhǔn)。這種印刷法可在柔性膜上印圖案，膜上的圖案以后可用作擋肋直接模壓的模具。然而，一個(gè)難處是，當(dāng)模具與肋材料對(duì)基片按壓以將肋料粘附于基片時(shí)，模具易延伸，模具的這一移動(dòng)就難以對(duì)基片作精密對(duì)準(zhǔn)。解決辦法是在模具背面淀積一層金屬，以防模具延伸。

本發(fā)明提出一種在有圖案基片上形成并對(duì)準(zhǔn)微結(jié)構(gòu)的方法。本發(fā)明諸較佳實(shí)施例可在有圖案基片上形成和對(duì)準(zhǔn)微結(jié)構(gòu)，且在相對(duì)大的距離內(nèi)具有很高的精度。