[發(fā)明專利]自動操縱裝置和利用它測量器件的方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 95191215.1
• 申請日: 1995-10-02
• 公開（公告）號: CN1102239C
• 公開（公告）日: 2003-02-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 后藤敏雄;菊池有朋;葉山久夫
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社愛德萬測試
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01R31/26
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 楊梧

??????????????????????技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種器件自動操縱裝置(automated?device-handlingapparatus，常稱作automatic?handler或autohandler；本文將這三者均譯作“(器件)自動操縱裝置”-譯注)，用于將半導(dǎo)體器件、濾波器、振蕩器之類的電子元部件(下面總起來稱作“器件”)從裝載器部分輸送到測試部分并進(jìn)行操縱或處理，而在測試后在測試結(jié)果的基礎(chǔ)上對測試過的器件進(jìn)行分類，本發(fā)明同時涉及一種利用該器件操縱裝置來測量器件的方法。本發(fā)明特別涉及一種裝有檢查器件外觀用的外觀檢驗(yàn)部分的器件自動操縱裝置，以及一種利用該器件操縱裝置來測量器件的方法。

??????????????????????背景技術(shù)

許多用于通過將預(yù)定測試模式的信號外加到器件上而測量待測試器件(通常稱作DUT)的電學(xué)特性的器件測試裝置(下面將稱作器件測試器)有一個整體組合于其中的器件自動操縱裝置。此處稱作“自動操縱裝置”的是自動的器件操縱(輸送和操縱或處理)裝置，用于將器件自動地運(yùn)出已由使用人存放在操縱裝置的裝載器部分中的裝有待測試器件的一個盤子(存放盒，通常稱作顧客盤或用戶盤)，在裝有器件測試器的測試頭的測試部分中測試器件的電學(xué)特性，而后在測試結(jié)果的基礎(chǔ)上對測試過的器件進(jìn)行分類并將已分類的器件自動地安置在卸載器部分的相應(yīng)盤子中。

先有技術(shù)的自動操縱裝置包括三種類型：(1)傾斜式自動操縱裝置，其中器件在它可以由重力而沿其滑動的移動路徑中的一個預(yù)定位置處接受電學(xué)測試，并在卸載部分中在測試結(jié)果的基礎(chǔ)上進(jìn)行分類；(2)水平式自動操縱裝置，其中一個裝有待測試器件的盤子在一個軌道之類的水平平面上移動，而待測試器件受到操縱(轉(zhuǎn)移/輸送和處理)并在一個預(yù)定位置上受到測試，隨后在測試結(jié)果的基礎(chǔ)上進(jìn)行分類；以及(3)一種自動操縱裝置，其中當(dāng)一個盤子被置于一個預(yù)定位置時，存放在盤子中的待測試器件受到自動操縱和測試，隨后在測試結(jié)果的基礎(chǔ)上進(jìn)行分類。

雖然本發(fā)明可以應(yīng)用于上述類型中的任何一種，但為了闡述方便起見，將應(yīng)用于屬于類型(3)的范圍的自動操縱裝置而進(jìn)行說明，其中當(dāng)一個裝有半導(dǎo)體器件特別是集成電路的盤子被置于裝載器部分中的一個預(yù)定位置上時，待測試器件(集成電路)受到自動操縱和測試，隨后在卸載部分中的測試結(jié)果的基礎(chǔ)上進(jìn)行分類。

首先，參照圖4，將說明在1993年11月4日提出申請的日本專利申請No.Hei5-275570(譯注：平5-275570)(275570/1993)中公開的一種自動操縱裝置，該專利的題目為“測試集成電路的集成電路輸送裝置”，轉(zhuǎn)讓給了本申請的同一受讓人。雖然該自動操縱裝置被設(shè)計(jì)來操縱作為半導(dǎo)體器件典型的集成電路(IC)，但它同樣能用于操縱集成電路以外的半導(dǎo)體器件和其它器件。

圖示的自動操縱裝置包括一個橫跨并可動地安裝在沿X方向(如圖4中從右到左)延伸的第一對軌道11上的第一可動臂12和一個安裝在可動臂12上用于沿該臂縱向即沿Y方向移動的第一小車13。在小車13的移動范圍內(nèi)，在操縱裝置的前部為從圖4中左側(cè)開始相繼設(shè)置的第一分類部分24、卸載部分23、裝載部分14和空盤部分26，而在操縱裝置的后部為從圖4中左側(cè)開始相繼設(shè)置的第二分類部分25和將待測試器件加熱到預(yù)定溫度用的加熱板15。可從理解，當(dāng)希望將待測試器件冷卻至預(yù)定溫度時，將設(shè)置冷卻板機(jī)構(gòu)。一些自動操縱裝置使用一個恒溫箱或恒溫槽，以便將待測試器件保持在設(shè)定的預(yù)定溫度。

雖然沒有圖示，但每個裝有多個排列的待測試器件的盤子在裝載部分14中互相疊置。可動臂12和小車13從疊置的最上層盤子中取出一個或多個待測試器件(通常利用吸住)并將其轉(zhuǎn)移到加熱板15上以將其加熱到測試溫度。而后利用可動臂12和小車13將加熱的待測試器件從加熱板15上轉(zhuǎn)移到第一緩沖級(中間平臺)16上。