[實用新型]快接元件清洗裝置

有效

• 申請號: 202320543285.8
• 申請日: 2023-03-20
• 公開（公告）號: CN219401326U
• 公開（公告）日: 2023-07-25
• 發明（設計）人: 陳坤義;高振亞
• 申請（專利權）人: 新應材股份有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 韓茂

一種快接元件清洗裝置，包含本體及流體注入件。本體具有清洗腔室，本體適于連接快接元件，且快接元件的一部分置于清洗腔室；流體注入件具有多孔結構，流體注入件設置于清洗腔室，且適于連接管件，以供外部清洗液及外部氣體進入清洗腔室。經由此快接元件清洗裝置，可有效清洗快接元件，降低快接元件污染的風險，進而維持產品良率。

技術領域

本實用新型涉及一種清洗裝置，尤其涉及一種可有效清洗快接元件的快接元件清洗裝置。

背景技術

在半導體等高度精密的產業中，對于制程中相關化學品的潔凈度有高度的要求，因此對于容納化學品的容器的挑選非常重視。其中，具有附加快接元件的膠桶，由于在使用上能增加便利性且能有效阻隔桶內化學品與外氣接觸，進而維持潔凈度，因此逐漸被用來容納化學品。

然而，若快接元件在未清潔的情況下，在投料的過程中，污染物可能會隨著快接元件進入膠桶內，導致化學品潔凈度下降，降低良率。但考量到快接元件于進行插拔時，仍有被污染的風險，因此如何便利且有效清洗快接元件，以維持膠桶內產品的潔凈度，乃為半導體業者所極力追求的。

實用新型內容

本實用新型提供一種快接元件清洗裝置，操作便利，可減少清洗液使用和人力需求，而具有降低成本的優點。

本實用新型所提供的快接元件清洗裝置包含本體及流體注入件。本體具有清洗腔室，本體適于連接快接元件，且快接元件的一部分置于清洗腔室；流體注入件具有多孔結構，流體注入件設置于清洗腔室，且適于連接管件，以供外部清洗液及外部氣體進入清洗腔室。

在本實用新型的一實施例中，上述的本體上形成有多個通孔，快接元件清洗裝置更包含氣液進出結構，經由通孔與清洗腔室連通，氣液進出結構適于控制外部清洗液及外部氣體進出清洗腔室，其中，流體注入件連接其中一個通孔。

在本實用新型的一實施例中，上述的氣液進出結構包含進液端、進氣端、氣液連通管件及排氣液端，進液端及進氣端連接氣液連通管件，且氣液連通管件連接流體注入件。

在本實用新型的一實施例中，上述的進液端包含進液口及液體控制隔膜閥，進液口適于供外部清洗液導入，液體控制隔膜閥適于控制外部清洗液是否能進入氣液連通管件，以及控制外部清洗液的流量大小。

在本實用新型的一實施例中，上述的進氣端包含進氣口及氣體控制隔膜閥，進氣口適于供外部氣體導入，氣體控制隔膜閥適于控制外部氣體是否能進入氣液連通管件，以及控制外部氣體的通量大小。

在本實用新型的一實施例中，上述的進氣端更包含支撐架，支撐架與氣液連通管件并列，借由支撐架固定氣體控制隔膜閥的位置。

在本實用新型的一實施例中，上述的排氣液端連接另一通孔，排氣液端適于將進入清洗腔室的外部清洗液及外部氣體排出。

在本實用新型的一實施例中，上述的流體注入件包含花灑裝置，連接氣液連通管件且位于清洗腔室。

在本實用新型的一實施例中，上述的本體更包含連接部，適于與快接元件連接，其中，快接元件的一端設置于一膠桶上，快接元件的另一端置入清洗腔室。

在本實用新型的一實施例中，上述的連接部為套接孔，本體經由套接孔套設于快接元件上。

本實用新型快接元件清洗裝置可迅速與快接元件對接，僅需導入所需的清洗液和氣體，即可對快接元件進行清洗和風干，清洗范圍小且清洗效果佳，可有效清洗快接元件，降低快接元件污染的風險，進而維持產品良率。

上述說明僅是本實用新型技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術手段，而可依照說明書的內容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖,詳細說明如下。

附圖說明

圖1是本實用新型一實施例快接元件清洗裝置的結構示意圖。