[實用新型]一種硅基負(fù)極CVD爐氮氣保護(hù)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202320449145.4
• 申請日: 2023-03-10
• 公開（公告）號: CN219244278U
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳玉強;楊明;黃杰;郝文玉;韓同同
• 申請（專利權(quán)）人: 東營勝華盈創(chuàng)新材料有限公司;勝華新材料科技（眉山）有限公司
• 主分類號: F27D7/02
• 分類號: F27D7/02;F27D19/00
• 代理公司: 東營雙橋?qū)＠碛邢挢?zé)任公司 37107
• 代理人: 趙春利

1.一種硅基負(fù)極CVD爐氮氣保護(hù)裝置，包括CVD回轉(zhuǎn)爐體（13）、過渡爐體（14）、進(jìn)氣管（15）、出氣管（16），所述CVD回轉(zhuǎn)爐體（13）的兩端分別安裝有過渡爐體（14），在兩個過渡爐體（14）的外端分別安裝進(jìn)氣管（15）和出氣管（16），其特征是：在進(jìn)氣管（15）的外端連接進(jìn)氣總管（17），乙炔氣支管（18）和保護(hù)管道（12）分別并聯(lián)到進(jìn)氣總管（17），所述的進(jìn)氣總管（17）上安設(shè)混合氣進(jìn)爐前總閥（6）、氮氣質(zhì)量體積流量計（3）、氮氣質(zhì)量流量計下游閥（7）和氮氣總閥（1），所述的乙炔氣支管（18）上安設(shè)乙炔氣質(zhì)量體積流量計下游閥（8）、乙炔質(zhì)量體積流量計（9）和乙炔氣總閥（11）；所述保護(hù)管道（12）上設(shè)有前旁路球閥（2）和旁路放空閥（4）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅基負(fù)極CVD爐氮氣保護(hù)裝置，其特征是：所述的氮氣質(zhì)量體積流量計（3）的前端設(shè)有氮氣質(zhì)量流量計上游閥（19），氮氣質(zhì)量體積流量計（3）的后端設(shè)有氮氣質(zhì)量流量計下游閥（7）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅基負(fù)極CVD爐氮氣保護(hù)裝置，其特征是：所述的乙炔質(zhì)量體積流量計（9）的前端設(shè)有乙炔氣質(zhì)量體積流量計上游閥（10），乙炔質(zhì)量體積流量計（9）的后端設(shè)有乙炔氣質(zhì)量體積流量計下游閥（8）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅基負(fù)極CVD爐氮氣保護(hù)裝置，其特征是：所述的保護(hù)管道（12）的旁路放空閥（4）的下側(cè)安裝后旁路球閥（5），且旁路放空閥（4）位于前旁路球閥（2）和旁路放空閥（4）之間的位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅基負(fù)極CVD爐氮氣保護(hù)裝置，其特征是：所述的CVD回轉(zhuǎn)爐體（13）內(nèi)設(shè)有導(dǎo)流塊（13.1）。