[實用新型]晶棒運輸車

有效

• 申請號: 202320188679.6
• 申請日: 2023-02-10
• 公開（公告）號: CN219382526U
• 公開（公告）日: 2023-07-21
• 發明（設計）人: 向鵬;李旭帆;李永輝
• 申請（專利權）人: 晶科能源股份有限公司;四川晶科能源有限公司
• 主分類號: B62B3/02
• 分類號: B62B3/02;B62B3/10;B62B5/00
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

本實用新型實施例提供一種晶棒運輸車，底座，底座底部設置有車輪；支架結構，支架結構設置于底座背離車輪的面上，支架結構還設置有旋轉軸；晶托，晶托的承載面用于承載晶棒，晶托通過旋轉軸與支架結構連接，且晶托相對于支架結構可繞旋轉軸的軸線轉動；第一限位部，第一限位部具有沿第一方向延伸的第一容納槽，第一容納槽內具有第一緩沖部，第一方向相對于豎直方向傾斜，第一限位部與支架結構固定連接，第一緩沖部還通過連接結構與晶托連接；其中，在晶托相對于支架結構繞旋轉軸的軸線轉動期間，晶托帶動第一緩沖部在第一容納槽內沿第一方向移動。本實用新型實施例提供的晶棒運輸車至少能夠有效降低運輸晶棒的勞動強度。

技術領域

本實用新型實施例涉及半導體材料運輸技術領域，特別涉及一種晶棒運輸車。

背景技術

晶棒在生產過程中，首先需要將原料硅放到單晶爐中高溫熔化成硅熔體，然后再使硅熔體結晶，形成晶棒，晶棒從單晶爐中取出以后，需要將其運輸至檢測車間以對其進行質量檢測并等待破段、切片，其中，通常采用晶棒運輸車來運輸晶棒，以節約人力。

目前，晶棒運輸車的設計仍有改善空間。

實用新型內容

本實用新型實施例提供一種晶棒運輸車，至少有利于解決運輸晶棒的勞動強度大的問題。

根據本實用新型一些實施例，本實用新型實施例提供一種晶棒運輸車，包括：底座，所述底座底部設置有車輪；支架結構，所述支架結構設置于所述底座背離所述車輪的面上，所述支架結構還設置有旋轉軸；晶托，所述晶托的承載面用于承載晶棒，所述晶托通過所述旋轉軸與所述支架結構連接，且所述晶托相對于所述支架結構可繞所述旋轉軸的軸線轉動；第一限位部，所述第一限位部具有沿第一方向延伸的第一容納槽，所述第一容納槽內具有第一緩沖部，所述第一方向相對于豎直方向傾斜，所述第一限位部與所述支架結構固定連接，所述第一緩沖部還通過連接結構與所述晶托連接；其中，在所述晶托相對于所述支架結構繞所述旋轉軸的軸線轉動期間，所述晶托帶動所述第一緩沖部在所述第一容納槽內沿所述第一方向移動。

在一些實施例中，所述第一緩沖部包括：轉動輪，所述轉動輪與所述連接結構連接，其中，所述晶托相對于所述支架結構繞所述旋轉軸的軸線轉動期間，所述連接結構帶動所述轉動輪在所述第一容納槽內轉動。

在一些實施例中，所述第一緩沖部包括：滑動部，所述滑動部與所述連接結構連接，其中，所述晶托相對于所述支架結構繞所述旋轉軸的軸線轉動期間，所述連接結構帶動所述滑動部在所述第一容納槽內滑動。

在一些實施例中，所述第一容納槽內設置有沿所述第一方向設置的滑軌，所述第一緩沖部在所述滑軌上移動。

在一些實施例中，所述第一容納槽內與所述第一緩沖部相接觸的底面設置有多個間隔排布的凸起部。

在一些實施例中，所述晶托包括：第一側托板，所述第一側托板具有第一承載面，所述第一承載面用于與晶棒的外周面正對，所述第一側托板與所述旋轉軸連接；第二側托板，所述第二側托板與所述第一側托板連接，所述第二側托板具有第二承載面，所述第二承載面用于與所述晶棒的端面正對。

在一些實施例中，所述晶托還包括：第二限位部，所述第二限位部設置在所述第一側托板朝向所述第一限位部的外側面，所述第二限位部具有沿第二方向延伸的第二容納槽，所述第二方向與所述外側面的延伸方向相同；第二緩沖部，所述第二緩沖部位于所述第二容納槽內，且經由所述連接結構與所述第一緩沖部連接；其中，在所述晶托相對于所述支架結構繞所述旋轉軸的軸線轉動期間，所述晶托帶動所述第二緩沖部在所述第二容納槽內沿所述第二方向移動。

在一些實施例中，所述第一承載面上設置有多個滑輪。

在一些實施例中，所述旋轉軸與所述晶托相固定，所述旋轉軸相對于所述支架結構可轉動；或者，所述旋轉軸與所述支架結構相固定，所述晶托相對于所述旋轉軸可繞所述旋轉軸的軸線轉動。