[發(fā)明專利]一種測量偏擺角的系統(tǒng)和方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202310962045.6 | 申請日： | 2023-08-02 |
| 公開（公告）號： | CN116659420B | 公開（公告）日： | 2023-10-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 孟帥;曾旭;董玥然;陸海亮;邢玲玲;JJGM·漢斯·杜伊斯特 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇集萃蘇科思科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/26 | 分類號： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 蘇州通途佳捷專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32367 | 代理人： | 翁德億 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州市相城*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 測量 偏擺角 系統(tǒng) 方法 | ||
1.一種測量偏擺角的系統(tǒng)，其特征在于，包括：
激光發(fā)射接收分析單元，
待測反射鏡，
參考反射鏡，所述參考反射鏡設(shè)置在待測反射鏡的一側(cè)且與待測反射鏡之間留有一定間隙，所述參考反射鏡與待測反射鏡平行設(shè)置，
外反射鏡，所述外反射鏡設(shè)置在參考反射鏡的一側(cè)，且外反射鏡與激光發(fā)射接收分析單元發(fā)出的用于入射到待測反射鏡的光線垂直，所述外反射鏡用于將參考反射鏡反射的光線進(jìn)行反射。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量偏擺角的系統(tǒng)，其特征在于，所述待測反射鏡與水平面的夾角為45度角。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量偏擺角的系統(tǒng)，其特征在于，所述激光發(fā)射接收分析單元發(fā)出的用于入射到待測反射鏡的光線為水平光線，所述外反射鏡與水平面垂直設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量偏擺角的系統(tǒng)，其特征在于，所述激光發(fā)射接收分析單元包括激光器、光線調(diào)整裝置、半透半反鏡和PSD傳感器，所述光線調(diào)整裝置位于激光器和半透半反鏡之間，所述激光器發(fā)出的光線經(jīng)過光線調(diào)整裝置和半透半反鏡后入射至所述待測反射鏡，
所述半透半反鏡還位于待測反射鏡和PSD傳感器之間，由待測反射鏡發(fā)出的光線經(jīng)半透半反鏡后進(jìn)入PSD傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測量偏擺角的系統(tǒng)，其特征在于，所述光線調(diào)整裝置包括光學(xué)衰減片和可調(diào)光闌，所述光學(xué)衰減片位于可調(diào)光闌和激光器之間。
6.一種測量偏擺角的方法，其特征在于，包括權(quán)利要求1所述的測量偏擺角的系統(tǒng)，激光發(fā)射接收分析單元產(chǎn)生的光線在待測反射鏡和參考反射鏡間多次反射后射向外反射鏡，光線再經(jīng)外反射鏡反射后，進(jìn)入待測反射鏡和參考反射鏡間并經(jīng)多次反射后射出并被激光發(fā)射接收分析單元接收。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的測量偏擺角的方法，其特征在于，所述激光發(fā)射接收分析單元包括激光器、光線調(diào)整裝置、半透半反鏡和PSD傳感器，所述光線調(diào)整裝置位于激光器和半透半反鏡之間，所述激光器發(fā)出的光線經(jīng)過光線調(diào)整裝置和半透半反鏡后入射至所述待測反射鏡，
所述半透半反鏡還位于待測反射鏡和PSD傳感器之間，由待測反射鏡發(fā)出的光線經(jīng)半透半反鏡后進(jìn)入PSD傳感器。
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