[發明專利]一種光束線站的自動反饋調光系統及方法

有效

• 申請號: 202310745734.1
• 申請日: 2023-06-25
• 公開（公告）號: CN116482867B
• 公開（公告）日: 2023-08-22
• 發明（設計）人: 劉海崗;張祥志;郭智;許子健;王勇;邰仁忠
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海高等研究院
• 主分類號: G02B27/09
• 分類號: G02B27/09
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司 31002
• 代理人: 楊怡清

1.一種光束線站的自動反饋調光系統，其特征在于，包括局域網，以及與所述局域網連接的光束線系統、出射狹縫系統、實驗站、系統參數模塊和自動反饋控制模塊；

其中，所述光束線系統、出射狹縫系統和實驗站依次排布，所述出射狹縫系統作為調光光學元件并且包括四個刀口，且所述實驗站處設有光強探測系統，所述光強探測系統包括設于實驗站處的金網和光電二極管；

所述系統參數模塊設置為將調光光學元件的主要調節參數和反饋參數存儲于查表模式參數文件，所述調光光學元件的主要調節參數包括光束線系統的調光參數和出射狹縫系統的調光參數，所述反饋參數包括出射狹縫系統的四個刀口的光電流信號、金網和光電二極管的光通量信號；

所述自動反饋控制模塊設置為獲取調光光學元件的主要調節參數的控制權限、讀取實時的反饋參數的權限和從系統參數模塊調取查表模式參數文件的權限，根據查表模式參數文件得到根據光束線系統的調光參數的變化對反饋參數的變化的影響規律；以及實時讀取出射狹縫系統的四個刀口的光電流信號，通過出射狹縫系統的四個刀口的光電流信號實時確定出射狹縫系統的電流重心相對于出射狹縫系統的開口中心的電流偏差；當電流偏差大于設定的電流偏差閾值時，根據所述影響規律確定光束線系統的調光參數的修正偏移量，根據修正偏移量對光束線系統的調光參數進行修正，光束線系統的調光參數的修正偏移量是指使得出射狹縫系統的左、右刀口的光電流信號值相同且上、下刀口的光電流信號值相同時的參數的偏移量。

2.根據權利要求1所述的光束線站的自動反饋調光系統，其特征在于，所述光束線系統包括依次設置并且作為調光光學元件的光源、平面鏡、單色器光柵和聚焦鏡，所述光束線系統的調光參數包括光源的入射光能量值E，平面鏡和聚焦鏡的xyz三維坐標和子午和弧矢方向的角度，以及單色器光柵的線密度，cff值，xyz三維坐標和子午和弧矢方向的角度；所述出射狹縫系統的調光參數包括出射狹縫系統的開口中心坐標和開口尺寸。

3.根據權利要求2所述的光束線站的自動反饋調光系統，其特征在于，所述光源為波蕩器，且所述光束線系統的調光參數還包括波蕩器的Gap值和Shift值。

4.根據權利要求1或2所述的光束線站的自動反饋調光系統，每個調光光學元件均配置有編碼器和光柵尺，以獲取調光光學元件的主要調節參數。

5.根據權利要求1所述的光束線站的自動反饋調光系統，其特征在于，所述出射狹縫裝置上設有分別與四刀狹縫的四個刀口電連接的光電信號轉換裝置和與所述光電信號轉換裝置連接的電流轉電壓裝置。

6.根據權利要求1所述的光束線站的自動反饋調光系統，其特征在于，所述金網設置于實驗站的前端，所述光電二極管設于實驗站內部且樣品后端附近的位置，且所述實驗站內配置有設于所述金網的前端的針孔光闌。