[發明專利]一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材及其制備方法

在審

• 申請號: 202310678889.8
• 申請日: 2023-06-09
• 公開（公告）號: CN116639955A
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發明（設計）人: 顧德盛;邵學亮;李開杰;羅斯詩;張興宇
• 申請（專利權）人: 先導薄膜材料（廣東）有限公司
• 主分類號: C04B35/01
• 分類號: C04B35/01;C04B35/622
• 代理公司: 清遠市諾譽知識產權代理事務所(普通合伙) 44815
• 代理人: 黃迅

1.一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，包括如下制備步驟：

(1)按摩爾比為90.5～92.5:1.5～2.5:3～5:1.5～2.5稱取氧化銦粉末、氧化鈦粉末、氧化鉭粉末和氧化鈰粉末；

(2)將第一分散劑加入到純水中攪拌分散均勻，然后加入步驟(1)中稱取好的氧化鈦粉末、氧化鉭粉末和氧化鈰粉末攪拌分散均勻，經過濕法研磨得到漿料一；

(3)將步驟(1)中稱取好的氧化銦粉末、第二分散劑和補加水加入漿料一，經過濕法研磨得到漿料二；

(4)向步驟(3)所得的漿料二中加入粘結劑，分散均勻后，經過濕法研磨得到漿料三；

(5)將步驟(4)中得到的漿料三通過噴霧造粒，再進行混料和篩分，得到氧化銦鈦鉭鈰粉末；

(6)將步驟(5)所得氧化銦鈦鉭鈰粉末加入模具經過模壓和冷等靜壓后，進行脫脂、燒結，得到氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材。

2.根據權利要求1所述的一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，步驟(2)中所述第一分散劑和步驟(3)中所述第二分散劑為PVP、SDBS或十六烷基苯磺酸鈉中的一種；所述第一分散劑的加入量占漿料一總質量的1％～10％；所述第二分散劑的加入量為氧化銦粉末、第二分散劑和補加水總質量的1％～10％。

3.根據權利要求2所述的一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，步驟(2)中所述濕法研磨是指采用臥式砂磨機研磨5～12h，研磨的轉速為800～1600r/min；步驟(3)中所述濕法研磨是指采用臥式砂磨機研磨4～10h，研磨的轉速為800～1600r/min。

4.根據權利要求3所述的一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，步驟(2)中所述漿料一的固含量為45％～65％；漿料一的粒徑D50＜5μm；步驟(3)中所述漿料二的固含量為45％～65％；漿料二的粒徑D50＜3μm。

5.根據權利要求1所述的一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，步驟(4)中所述粘結劑為PVA與PEG的混合劑、PVA或PVB；粘結劑的加入量為漿料三中固體總質量的1％～10％。

6.根據權利要求5所述的一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，步驟(4)中所述濕法研磨是指采用臥式砂磨機研磨3～7h，研磨的轉速為800～1600r/min。

7.根據權利要求6所述的一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，步驟(4)中所述漿料三的固含量為45％～65％；漿料三的粒徑D50＜3μm。

8.根據權利要求1所述的一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，步驟(6)中所述模壓的壓力為30～95Mpa，成型時間為60～180s；所述冷等靜壓的壓力為200～500Mpa，成型時間為60～180s。

9.根據權利要求1所述的一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材的制備方法，其特征在于，步驟(6)中所述脫脂溫度為500～600℃，保溫時間為10～15h，升溫速率為0.3～0.6℃/min；所述燒結溫度為1300～1550℃，升溫速率為0.3～2℃/min，保溫時間為4～12h。

10.一種氧化銦摻雜鈦鉭鈰靶材，其特征在于，通過權利要求1～9任一項所述的方法制備得到。