[發明專利]一種硅片拋光組合物及其應用

在審

• 申請號: 202310558803.8
• 申請日: 2023-05-18
• 公開（公告）號: CN116640515A
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發明（設計）人: 王慶偉;卞鵬程;王永東;徐賀;李國慶;王瑞芹;崔曉坤
• 申請（專利權）人: 萬華化學集團電子材料有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02;H01L21/306
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種硅片拋光組合物，其特征在于，所述硅片拋光組合物以二氧化硅水溶膠為拋光磨料、有機堿為速率促進劑，并添加有芳基正離子化合物及水溶性改性硅油。

2.根據權利要求1所述的硅片拋光組合物，其特征在于，以所述拋光組合物的總質量計，包括以下重量百分含量的組分：

余量為去離子水。

3.根據權利要求1或2所述的硅片拋光組合物，其特征在于，所述二氧化硅水溶膠的粒徑為10-120nm，優選為30-90nm，固含量為10-50wt％，優選為20-40wt％。

4.根據權利要求1或2所述的硅片拋光組合物，其特征在于，所述速率促進劑選自甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、乙二胺、丙二胺、丁二胺、乙基乙二胺、單乙醇胺、N-(β-胺基乙基)乙醇胺、六亞甲基二胺、二亞乙基三胺、三亞己基四胺、1-(2-胺基乙基)哌嗪、N-甲基哌嗪、哌嗪、咪唑、甲基咪唑、1，2，4三氮唑、4-氨基-1,2,4-三氮唑、碳酸胍、鹽酸胍、硝酸胍、四甲基氫氧化銨、四甲基氯化銨、四甲基溴化銨、四甲基氟化銨、四乙基氫氧化銨、四丙基氫氧化銨、四丁基氫氧化銨、四乙基氯化銨、四乙基溴化銨、四乙基氟化銨中的至少任一種；優選為四甲基氫氧化銨。

5.根據權利要求1或2所述的硅片拋光組合物，其特征在于，所述芳基正離子化合物為在水溶液中其含有芳基的主體部分能電離或質子化后形成帶有至少一個正電荷的化合物。

6.根據權利要求5所述的硅片拋光組合物，其特征在于，所述芳基正離子化合物選自苯并咪唑、喹啉、苯胺、2-羥基苯胺、苯甲胺、4-羥基苯甲胺、苯乙胺、2-氨基-1-苯乙醇、苯丙胺、4-氨基聯苯、聯苯胺、4-氯鄰甲苯胺、2-萘胺、鄰氨基偶氮甲苯、5-硝基-鄰甲苯胺、4-氯苯胺、4-二氨基苯甲醚、3,3′-二氯聯苯胺、3,3′-二甲基聯苯胺、2-甲基苯胺、2,4-二氨基甲苯、2,4,5-三甲基苯胺、2-甲氧基苯胺、4-氨基偶氮苯、2,4-二甲基苯胺、2,6-二甲基苯胺、芐基三甲基氯化銨、芐基三甲基氫氧化銨、芐基三乙基氯化銨、芐基三乙基氫氧化銨、苯基三甲基氯化銨、苯基三甲基氫氧化銨中的至少任一種；優選為苯并咪唑、2-羥基苯胺、卞基三甲基氯化銨中的至少任一種。

7.根據權利要求1或2所述的硅片拋光組合物，其特征在于，所述水溶性改性硅油選自聚醚改性硅油、氨基改性硅油、環氧改性硅油、羧基改性硅油、醇羥基改性硅油、酚羥基改性硅油、巰基改性硅油、聚二有機硅氧烷一聚醚嵌段共聚改性硅油、烷基與聚醚共改性硅油、烷基醚聚醚硅油、環氧基聚醚硅油、氨基聚醚嵌段硅油、甘油醚基硅油、磷酸酷基硅油、糖基聚醚硅油、甜菜堿基硅油中的至少任一種，優選為聚醚改性硅油、氨基改性硅油、環氧改性硅油。

8.根據權利要求1或2所述的硅片拋光組合物，其特征在于，所述pH調節劑選自氯化氫、硝酸、硫酸、磷酸、氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鋰、四甲基氫氧化銨、咪唑、哌嗪、甲基咪唑、1,2,4-三氮唑、四甲基胍、甲酸、乙酸、丙酸、衣康酸、琥珀酸、酒石酸、檸檬酸、馬來酸、乙醇酸、丙二酸、草酸、丁二酸、蘋果酸、葡萄糖酸、丙氨酸、甘氨酸、乳酸、三氟乙酸、乙二胺四乙酸、氮川三乙酸、二乙烯三胺五乙酸、三乙烯二胺、丙二胺四乙酸、羥乙基乙二胺、羥乙基乙二胺三乙酸、焦磷酸、2-氨基乙基膦酸、1-羥基乙叉1,1-二膦酸、氨基三亞甲基膦酸、乙二胺四亞甲基膦酸、二亞乙基三胺五亞甲基膦酸、乙烷-1,1-二膦酸、乙烷-1,1,2-三膦酸、甲烷羥基膦酸、1-膦酰基丁烷-2,3,4-三羧酸或其鹽類中的至少任一種，優選為檸檬酸、丙二酸、酒石酸、乙二胺四乙酸、丙二胺四乙酸、羥乙基乙二胺三乙酸中的至少任一種，更優選為草酸、氯化氫、氫氧化鉀、四甲基氫氧化銨中的任一種。

9.根據權利要求8所述的硅片拋光組合物，其特征在于，所述硅片拋光組合物的pH值控制在9.5-12.5之間。

10.權利要求1～9任一項所述的硅片拋光組合物在硅片化學機械拋光中的應用。