[發(fā)明專利]一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202310448138.7
• 申請日: 2023-04-24
• 公開（公告）號: CN116387255A
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史一濤;張愛麗;姬鵬;赫明月;潘越
• 申請（專利權(quán)）人: 河北工程大學(xué)
• 主分類號: H01L23/427
• 分類號: H01L23/427;H01L23/473
• 代理公司: 鄭州意創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41138
• 代理人: 張江森

1.一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件，其特征在于，包括集液組件(1)、集氣組件(2)和殼體組件(3)；所述集液組件(1)底部和集氣組件(2)底部分別固定連接在殼體組件(3)上部兩側(cè)，集液組件(1)與集氣組件(2)平行設(shè)置，SiC功率模塊(4)位于殼體組件(3)內(nèi)部，與殼體組件(3)固定連接；所述集液組件(1)、集氣組件(2)均和殼體組件(3)連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件，其特征在于，所述集液組件(1)包括第一集液管(11)和第二集液管(12)；所述集氣組件(2)包括第一集氣管(21)和第二集氣管(22)；第二集液管(12)和第二集氣管(22)均設(shè)置多個(gè)，多個(gè)第二集液管(12)沿第一集液管(11)軸向間隔設(shè)置，多個(gè)第二集氣管(22)沿第一集液管(11)軸向間隔設(shè)置；所述第二集液管(12)與第一集液管(11)垂直連通設(shè)置，所述第二集氣管(22)與第一集氣管(21)垂直連通設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件，其特征在于，所述殼體組件(3)包括蓋板(31)和殼體(33)，所述蓋板(31)與殼體(33)固定連接；所述殼體(33)上端開設(shè)容納槽，容納槽底部固定設(shè)置SiC功率模塊(4)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件，其特征在于，所述第一集液管(11)其中一端為進(jìn)口，所述第一集氣管(21)其中一端為出口，第一集液管(11)進(jìn)口與第一集氣管(21)出口同向；第二集液管(12)上端與第一集液管(11)固定連接，第二集液管(12)與蓋板(31)固定連接，第二集液管(12)下端穿過蓋板(31)延伸至殼體(33)內(nèi)部，靠近SiC功率模塊(4)上表面；第二集氣管(22)上端與第一集氣管(21)固定連接，第二集氣管(22)下端與蓋板(31)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件，其特征在于，所述SiC功率模塊(4)包括芯片(41)、鍵合線(42)和基板(43)；所述芯片(41)底部與基板(43)上表面固定連接，所述基板(43)與殼體(33)容納槽底部固定連接，基板(43)與連接件(34)電連接；所述鍵合線(42)其中一端固定在基板(43)上，另一端固定在芯片(41)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件，其特征在于，所述芯片(41)設(shè)置多組，多組所述芯片(41)沿殼體(33)兩側(cè)間隔設(shè)置，布置成兩排，位于殼體(33)其中一側(cè)的多組芯片(41)與多個(gè)第二集液管(12)下端一一對應(yīng)，位于殼體(33)另一側(cè)的多組芯片(41)與多個(gè)第二集氣管(22)下端一一對應(yīng)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件，其特征在于，所述殼體組件(3)還包括連接件(34)，所述連接件(34)設(shè)置四個(gè)，兩個(gè)位于殼體(33)同一側(cè)的連接件(34)為一組，兩組沿殼體(33)中心線對稱，連接件(34)上表面其中一端自上而下開設(shè)圓形通孔，另一端與殼體(33)外側(cè)固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高功率蒸發(fā)冷卻SiC功率器件，其特征在于，所述集液組件(1)還包括第一連接環(huán)(13)、第一密封環(huán)(14)和第二密封環(huán)(15)；第二集液管(12)上設(shè)置第一環(huán)形凸臺(tái)(121)，第一環(huán)形凸臺(tái)(121)與蓋板(31)上方之間設(shè)置第一密封環(huán)(14)；所述第一連接環(huán)(13)與蓋板(31)插接，第一連接環(huán)(13)與第二集液管(12)螺紋連接，第一連接環(huán)(13)下端向外延伸的法蘭邊與蓋板(31)下方之間設(shè)置第二密封環(huán)(15)。